實(shí)時(shí)成像微光顯微鏡成像儀

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-14

EMMI的本質(zhì)只是一臺(tái)光譜范圍廣,光子靈敏度高的顯微鏡。

但是為什么EMMI能夠應(yīng)用于IC的失效分析呢?

原因就在于集成電路在通電后會(huì)出現(xiàn)三種情況:1.載流子復(fù)合;2.熱載流子;3.絕緣層漏電。當(dāng)這三種情況發(fā)生時(shí)集成電路上就會(huì)產(chǎn)生微弱的熒光,這時(shí)EMMI就能捕獲這些微弱熒光,這就給了EMMI一個(gè)應(yīng)用的機(jī)會(huì)而在IC的失效分析中,我們給予失效點(diǎn)一個(gè)偏壓產(chǎn)生熒光,然后EMMI捕獲電流中產(chǎn)生的微弱熒光。原理上,不管IC是否存在缺陷,只要滿(mǎn)足其機(jī)理在EMMI下都能觀測(cè)到熒光 微光顯微鏡支持寬光譜探測(cè)模式,探測(cè)范圍從紫外延伸至近紅外,能滿(mǎn)足不同材料的光子檢測(cè),適用范圍更廣。實(shí)時(shí)成像微光顯微鏡成像儀

實(shí)時(shí)成像微光顯微鏡成像儀,微光顯微鏡

我司專(zhuān)注于微弱信號(hào)處理技術(shù)的深度開(kāi)發(fā)與場(chǎng)景化應(yīng)用,憑借深厚的技術(shù)積累,已成功推出多系列失效分析檢測(cè)設(shè)備及智能化解決方案。更懂本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需求,軟件界面貼合工程師操作習(xí)慣,無(wú)需額外適配成本即可快速融入產(chǎn)線流程。

性?xún)r(jià)比優(yōu)勢(shì)直擊痛點(diǎn):相比進(jìn)口設(shè)備,采購(gòu)成本降低 30% 以上,且本土化售后團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn) 24 小時(shí)響應(yīng)、48 小時(shí)現(xiàn)場(chǎng)維護(hù),備件供應(yīng)周期縮短至 1 周內(nèi),徹底擺脫進(jìn)口設(shè)備 “維護(hù)慢、成本高” 的困境。用國(guó)產(chǎn)微光顯微鏡,為芯片質(zhì)量把關(guān),讓失效分析更高效、更經(jīng)濟(jì)、更可控! 制冷微光顯微鏡聯(lián)系人我司自主研發(fā)的桌面級(jí)設(shè)備其緊湊的機(jī)身設(shè)計(jì),可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間,適合在小型研發(fā)機(jī)構(gòu)或生產(chǎn)線上靈活部署。

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失效分析是指通過(guò)系統(tǒng)的檢測(cè)、實(shí)驗(yàn)和分析手段,探究產(chǎn)品或器件在設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、使用過(guò)程中出現(xiàn)故障、性能異常或失效的根本原因,進(jìn)而提出改進(jìn)措施以預(yù)防同類(lèi)問(wèn)題再次發(fā)生的技術(shù)過(guò)程。它是連接產(chǎn)品問(wèn)題與解決方案的關(guān)鍵環(huán)節(jié),**在于精細(xì)定位失效根源,而非*關(guān)注表面現(xiàn)象。在半導(dǎo)體行業(yè),失效分析具有不可替代的應(yīng)用價(jià)值,貫穿于芯片從研發(fā)到量產(chǎn)的全生命周期。

在研發(fā)階段,針對(duì)原型芯片的失效問(wèn)題(如邏輯錯(cuò)誤、漏電、功耗過(guò)高等),通過(guò)微光顯微鏡、探針臺(tái)等設(shè)備進(jìn)行失效點(diǎn)定位,結(jié)合電路仿真、材料分析等手段,可追溯至設(shè)計(jì)缺陷(如布局不合理、時(shí)序錯(cuò)誤)或工藝參數(shù)偏差,為芯片設(shè)計(jì)優(yōu)化提供直接依據(jù);在量產(chǎn)環(huán)節(jié),當(dāng)出現(xiàn)批量性失效時(shí),失效分析能快速判斷是光刻、蝕刻等制程工藝的穩(wěn)定性問(wèn)題,還是原材料(如晶圓、光刻膠)的質(zhì)量波動(dòng),幫助生產(chǎn)線及時(shí)調(diào)整參數(shù),降低報(bào)廢率;在應(yīng)用端,針對(duì)芯片在終端設(shè)備(如手機(jī)、汽車(chē)電子)中出現(xiàn)的可靠性失效(如高溫環(huán)境下性能衰減、長(zhǎng)期使用后的老化失效),通過(guò)環(huán)境模擬測(cè)試、失效機(jī)理分析,可推動(dòng)芯片在封裝設(shè)計(jì)、材料選擇上的改進(jìn),提升產(chǎn)品在復(fù)雜工況下的穩(wěn)定性。

漏電是芯片另一種常見(jiàn)的失效模式,其誘因復(fù)雜多樣,既可能源于晶體管長(zhǎng)期工作后的老化衰減,也可能由氧化層存在裂紋等缺陷引發(fā)。

與短路類(lèi)似,芯片內(nèi)部發(fā)生漏電時(shí),漏電路徑中會(huì)伴隨微弱的光發(fā)射現(xiàn)象——這種光信號(hào)的強(qiáng)度往往遠(yuǎn)低于短路產(chǎn)生的光輻射,對(duì)檢測(cè)設(shè)備的靈敏度提出了極高要求。EMMI憑借其的微光探測(cè)能力,能夠捕捉到漏電產(chǎn)生的極微弱光信號(hào)。通過(guò)對(duì)芯片進(jìn)行全域掃描,可將漏電區(qū)域以可視化圖像的形式清晰呈現(xiàn),使工程師能直觀識(shí)別漏電位置與分布特征。


微光顯微鏡能檢測(cè)半導(dǎo)體器件微小缺陷和失效點(diǎn),及時(shí)發(fā)現(xiàn)隱患,保障設(shè)備可靠運(yùn)行、提升通信質(zhì)量。

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致晟光電作為專(zhuān)注于微光顯微鏡與熱紅外顯微鏡應(yīng)用的技術(shù)團(tuán)隊(duì),設(shè)備在微小目標(biāo)定位、熱分布成像等場(chǎng)景中具備高分辨率優(yōu)勢(shì),可廣泛應(yīng)用于芯片、PCB板、顯示屏等消費(fèi)電子元器件的檢測(cè)環(huán)節(jié),為您提供客觀的物理位置或熱分布定位數(shù)據(jù)。

為讓您更直觀了解設(shè)備的定位精度與適用性,我們誠(chéng)摯邀請(qǐng)貴單位參與樣品測(cè)試合作:若您有需要進(jìn)行微光定位(如細(xì)微結(jié)構(gòu)位置標(biāo)記、表面瑕疵定位)或熱紅外定位(如元器件發(fā)熱點(diǎn)分布、溫度梯度成像)的樣品,可郵寄至我方實(shí)驗(yàn)室。我們將提供專(zhuān)業(yè)檢測(cè)服務(wù),輸出包含圖像、坐標(biāo)、數(shù)值等在內(nèi)的定位數(shù)據(jù)報(bào)告(注:報(bào)告呈現(xiàn)客觀檢測(cè)結(jié)果,不做定性或定量結(jié)論判斷)。測(cè)試過(guò)程中,我們會(huì)根據(jù)您的需求調(diào)整檢測(cè)參數(shù),確保定位數(shù)據(jù)貼合實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景。若您對(duì)設(shè)備的定位效果認(rèn)可,可進(jìn)一步洽談設(shè)備采購(gòu)或長(zhǎng)期檢測(cè)服務(wù)合作。 我司團(tuán)隊(duì)改進(jìn)算法等技術(shù),整合出 EMMI 芯片漏電定位系統(tǒng),價(jià)低且數(shù)據(jù)整理準(zhǔn)、操作便,性?xún)r(jià)比高,居行業(yè)先頭。IC微光顯微鏡24小時(shí)服務(wù)

漏電結(jié)和接觸毛刺會(huì)產(chǎn)生亮點(diǎn),這些亮點(diǎn)產(chǎn)生的光子能被微光顯微鏡捕捉到。實(shí)時(shí)成像微光顯微鏡成像儀

致晟光電 RTTLIT E20 微光顯微分析系統(tǒng)(EMMI)是一款專(zhuān)為半導(dǎo)體器件漏電缺陷檢測(cè)量身打造的高精度檢測(cè)設(shè)備。該系統(tǒng)搭載先進(jìn)的 - 80℃制冷型 InGaAs 探測(cè)器與高分辨率顯微物鏡,憑借超高檢測(cè)靈敏度,可捕捉器件在微弱漏電流信號(hào)下產(chǎn)生的極微弱微光。通過(guò)超高靈敏度成像技術(shù),設(shè)備能快速定位漏電缺陷并開(kāi)展深度分析,為工程師優(yōu)化生產(chǎn)工藝、提升產(chǎn)品可靠性提供關(guān)鍵支持,進(jìn)而為半導(dǎo)體器件的質(zhì)量控制與失效分析環(huán)節(jié)提供安全可靠的解決方案。實(shí)時(shí)成像微光顯微鏡成像儀

蘇州致晟光電科技有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念,先進(jìn)的管理經(jīng)驗(yàn),在發(fā)展過(guò)程中不斷完善自己,要求自己,不斷創(chuàng)新,時(shí)刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中匯聚了大量的人脈以及客戶(hù)資源,在業(yè)界也收獲了很多良好的評(píng)價(jià),這些都源自于自身的努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果,這些評(píng)價(jià)對(duì)我們而言是最好的前進(jìn)動(dòng)力,也促使我們?cè)谝院蟮牡缆飞媳3謯^發(fā)圖強(qiáng)、一往無(wú)前的進(jìn)取創(chuàng)新精神,努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個(gè)新高度,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同蘇州致晟光電科技供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來(lái),創(chuàng)造更有價(jià)值的產(chǎn)品,我們將以更好的狀態(tài),更認(rèn)真的態(tài)度,更飽滿(mǎn)的精力去創(chuàng)造,去拼搏,去努力,讓我們一起更好更快的成長(zhǎng)!