在半導(dǎo)體制造的精密工藝中,光刻膠過濾器作為保障光刻工藝穩(wěn)定性的主要組件,其性能直接影響晶圓表面的涂膠質(zhì)量。隨著制程節(jié)點向7nm及以下推進(jìn),光刻膠中的顆粒物、金屬離子等污染物控制成為關(guān)鍵挑戰(zhàn)。本文將從技術(shù)原理、操作流程、維護(hù)要點及行業(yè)實踐等維度,系統(tǒng)解析光刻膠過...
工作原理1.#航空煤油過濾分離器#由有聚結(jié)濾芯和分離濾芯組成,雙重濾芯達(dá)到徹底脫水的效果。2.想要脫水的介質(zhì)由內(nèi)流向外部,第一步由過濾層濾除固體雜質(zhì),第二步通過破乳層,將乳化狀態(tài)的油水分離,第三步由聚結(jié)層將微小的水滴聚結(jié)成大的水滴,沉降到殼體底部。3.部分未來...
溫度因素常被忽視。高溫穩(wěn)定性對某些工藝很關(guān)鍵,如高溫硬烤前的過濾步驟。標(biāo)準(zhǔn)尼龍材料在60°C以上可能軟化,而PTFE可耐受150°C以上。然后,考慮材料純度本身。即使是"純凈"的聚合物也可能含有抗氧化劑、塑化劑等添加劑,這些物質(zhì)可能被光刻膠浸出。針對較嚴(yán)苛的應(yīng)...
本文將深入探討光刻膠過濾器的工作原理,并結(jié)合實際應(yīng)用場景和技術(shù)特點,全方面解析其在半導(dǎo)體制造中的重要作用。光刻膠過濾器的基本結(jié)構(gòu)與工作流程:基本組成:光刻膠過濾器通常由以下幾個部分組成:濾芯(Filter Element):濾芯是過濾器的主要組件,主要用于去除...
實用選擇建議:建議采用系統(tǒng)化的選擇流程:首先明確工藝需求和優(yōu)先級,然后建立初步篩選標(biāo)準(zhǔn)。獲取2-3家合格供應(yīng)商的樣品進(jìn)行對比測試,重點關(guān)注實際攔截效率和工藝匹配度。全方面評估總擁有成本后,制定分階段實施計劃。定期復(fù)核過濾器性能至關(guān)重要,建議每年重新評估一次技術(shù)...
初始壓差反映新過濾器的流動阻力,通常在0.01-0.05MPa范圍內(nèi)。低壓差設(shè)計有利于保持穩(wěn)定涂布,特別是對于高粘度光刻膠或低壓分配系統(tǒng)。但需注意,過低的初始壓差可能意味著孔隙率過高而影響過濾精度。容塵量與壽命決定過濾器的更換頻率。深度過濾器通常比膜式過濾器具...
近期有不少朋友問我們:自清洗過濾器為什么被稱作“自清洗”呢?其實自清洗過濾器就是一種利用濾網(wǎng)攔截水中的雜質(zhì),去除水中懸浮物、顆粒物,降低濁度、凈化水質(zhì),減少系統(tǒng)污垢、菌藻、銹蝕的水處理設(shè)備。之所以被稱為自清洗,主要是因為該過濾器智能化的設(shè)計,可自動識別雜質(zhì)沉積...
光刻膠常被稱為是特殊化學(xué)品行業(yè)技術(shù)壁壘較高的材料,面板微米級和芯片納米級的圖形加工工藝,對專門使用化學(xué)品的要求極高,不僅材料配方特殊,品質(zhì)要求也非??量獭8鶕?jù)近期曝光的新一輪修訂的《瓦森納安排》,增加了兩條有關(guān)半導(dǎo)體領(lǐng)域的出口管制內(nèi)容,主要涉及光刻軟件以及12...
深度過濾器則采用纖維材料(如聚丙烯纖維)的立體網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),通過多重機(jī)制捕獲顆粒。與膜式過濾器相比,深度過濾器具有更高的容塵量,適合高固含量或易產(chǎn)生聚集的光刻膠。我們公司的CR系列深度過濾器就是為應(yīng)對高粘度化學(xué)放大resist(CAR)而專門設(shè)計的。復(fù)合材料過濾器...
全自動清洗過濾器的工作原理是啥:1、過濾階段?:水由進(jìn)水口進(jìn)入過濾器內(nèi)部,通過濾網(wǎng)攔截水中的雜質(zhì)。當(dāng)濾網(wǎng)上的污物積累到一定程度時,系統(tǒng)會自動開啟排污閥和排污機(jī)構(gòu),對濾網(wǎng)上的雜質(zhì)進(jìn)行清洗和排除?;2、清洗階段?:在清洗階段,利用約5%的過濾后清潔水反向沖洗當(dāng)前空...
油墨過濾器的應(yīng)用領(lǐng)域:油墨過濾器普遍應(yīng)用于印刷行業(yè)中,特別是在各類印刷品生產(chǎn)中。例如包裝印刷、標(biāo)簽印刷、廣告印刷等領(lǐng)域都需要使用油墨過濾器來油墨質(zhì)量和印刷效果。此外,油墨過濾器也被應(yīng)用于油墨生產(chǎn)廠家中,用于生產(chǎn)過程中的油墨過濾,確保油墨質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)??偟膩碚f,...
負(fù)壓油墨過濾機(jī):負(fù)壓油墨過濾機(jī)應(yīng)用:1印刷行業(yè):油墨過濾:在印刷過程中,負(fù)壓油墨過濾機(jī)可以去除油墨中的雜質(zhì),確保印刷品的清晰度和色彩飽和度。油墨回收:用于回收和再利用廢棄油墨,減少浪費和環(huán)境污染。2油墨生產(chǎn):生產(chǎn)過程:在油墨生產(chǎn)過程中,負(fù)壓油墨過濾機(jī)可以去除生...
光刻膠的關(guān)鍵性能指標(biāo)詳解。在選擇光刻膠時,了解其關(guān)鍵性能指標(biāo)至關(guān)重要。以下是光刻膠的五大基本特性,幫助你更好地選擇適合特定應(yīng)用的光刻膠。靈敏度:靈敏度是衡量光刻膠曝光速度的指標(biāo)。靈敏度越高,所需的曝光劑量越小。光刻膠通過吸收特定波長的光輻射能量來完成聚合物分子...
打印墨水過濾器使用與維護(hù):1.安裝與更換:1.安裝:將過濾器插入打印機(jī)指定位置,注意插入方向,確保標(biāo)識正確。2.更換:根據(jù)使用頻率和墨水質(zhì)量,建議每半年至一年更換一次過濾器。若過濾器堵塞導(dǎo)致墨水壓力增加,系統(tǒng)會發(fā)出警報,需及時更換。2.注意事項:1.墨水選擇:...
納米油墨過濾器是一種針對油墨進(jìn)行高精度過濾的設(shè)備,結(jié)合了納米技術(shù)與過濾技術(shù)的優(yōu)勢。納米油墨過濾器應(yīng)用領(lǐng)域:納米油墨過濾器普遍應(yīng)用于印刷、包裝、廣告、電子等領(lǐng)域,特別是在對油墨質(zhì)量要求較高的場合,如高精度印刷、彩色印刷等。納米油墨過濾器維護(hù):1.定期對設(shè)備進(jìn)行維...
過濾器使用及維護(hù):過濾分離器安裝好后,便能長期連續(xù)、可靠的工作,一般不用開蓋清洗,但平時使用時應(yīng)注意以下幾點:1.及時放氣。對于安裝手動放氣閥的過濾器,在每次作業(yè)時,要進(jìn)行人工放氣,因為殼體中若積存的氣體過多,會影響過濾器的正常工作。2.經(jīng)常放沉淀。在每次加油...
光刻膠過濾器的工作原理?:光刻膠過濾器主要通過物理過濾的方式去除光刻膠中的雜質(zhì)。其主要過濾部件通常采用具有特定孔徑的過濾膜,這些過濾膜的孔徑可以精確控制在納米級別,能夠有效地攔截大于孔徑的顆粒、金屬離子、有機(jī)物等雜質(zhì)。常見的過濾膜材料有尼龍、聚四氟乙烯(PTF...
中水回用系統(tǒng):在小區(qū)或辦公樓的中水回用項目中,過濾生活污水(如洗澡水、洗衣水),處理后用于沖廁、綠化灌溉。參數(shù)參考:過濾精度10-50μm,出水濁度<5NTU,符合《城市污水再生利用城市雜用水水質(zhì)》標(biāo)準(zhǔn)。地下水除鐵錳:結(jié)合曝氣工藝,通過磁式自清洗過濾器去除地下...
轉(zhuǎn)臂式自清洗過濾器是一種高效、緊湊的過濾器,其特點在于多個濾筒在同一個筒體內(nèi)并行工作。這種過濾器主要用于去除低粘度介質(zhì)中的固體顆粒,如工業(yè)用水或海水中的雜質(zhì)。在過濾過程中,介質(zhì)從內(nèi)部流向外部,通過楔形網(wǎng)濾筒進(jìn)行過濾,固體顆粒被攔截在濾筒內(nèi)側(cè)。隨著污染物逐漸增多...
主要性能優(yōu)勢:優(yōu)勢維度具體表現(xiàn):自動化水平全流程無人值守,清洗周期、排污時間可自定義設(shè)置,適配復(fù)雜工況。過濾效率濾芯精度范圍5-200μm,支持高粘度、高雜質(zhì)流體過濾,納污量比傳統(tǒng)單芯過濾器高30%以上。節(jié)能性清洗時只消耗系統(tǒng)自身流體(無需額外動力),能耗低至...
應(yīng)用領(lǐng)域:高質(zhì)量印刷:如書籍、雜志、包裝等需要高清晰度圖像的印刷品。電子工業(yè):用于生產(chǎn)電路板時的導(dǎo)電油墨過濾。醫(yī)藥和化妝品行業(yè):確保產(chǎn)品的安全性和純度,特別是涉及液體或膏狀產(chǎn)品時。優(yōu)點:提升印刷質(zhì)量:通過減少油墨中的雜質(zhì),使得印刷色彩更加鮮艷、清晰。延長設(shè)備壽...
光刻膠中雜質(zhì)的危害?:光刻膠中的雜質(zhì)來源普遍,主要包括原材料引入的雜質(zhì)、生產(chǎn)過程中的污染以及儲存和運輸過程中混入的異物等。這些雜質(zhì)雖然含量可能極微,但卻會對光刻工藝產(chǎn)生嚴(yán)重的負(fù)面影響。微小顆粒雜質(zhì)可能導(dǎo)致光刻圖案的局部變形、短路或斷路等缺陷,使得芯片的電學(xué)性能...
層流狀態(tài)下,光刻膠能更均勻地通過過濾介質(zhì)。設(shè)備會控制光刻膠的流速,防止過快流速影響過濾質(zhì)量。合理的流速可確保雜質(zhì)被充分?jǐn)r截,而不被光膠沖走。壓力差是推動光刻膠通過過濾器的動力來源。設(shè)備會精確調(diào)節(jié)進(jìn)出口壓力差,保障過濾穩(wěn)定進(jìn)行。當(dāng)壓力差異常時,可能意味著過濾介質(zhì)...
影響過濾性能的關(guān)鍵因素:濾芯孔徑大?。嚎讖酱笮≈苯記Q定了過濾器的分離能力。較小的孔徑可以去除更細(xì)小的顆粒,但會降低過濾效率并增加能耗;較大的孔徑則可能導(dǎo)致雜質(zhì)殘留。因此,在選擇濾芯時需要根據(jù)光刻膠溶液中雜質(zhì)的粒度分布進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計。材料特性:濾材的化學(xué)穩(wěn)定性、機(jī)...
應(yīng)用范圍:鋼鐵:用于原料、燒結(jié)球團(tuán)廠水處理過濾,高爐、軋機(jī)、連鑄機(jī)等系統(tǒng)冷卻水過濾,高壓水除磷系統(tǒng)雜質(zhì)過濾汽車:涂裝生產(chǎn)線,噴淋循環(huán)水等。發(fā)電廠:用于電廠鍋爐高純水制備的預(yù)處理部分,發(fā)電機(jī)冷卻水、密封用水的過濾;石油化工:在循環(huán)水做旁濾處理,可單機(jī)或多機(jī)型并聯(lián)...
如果發(fā)現(xiàn)設(shè)備的供墨系統(tǒng)沒有油墨過濾器,且受車間環(huán)境中灰塵及其他工藝因素的影響,在印品上出現(xiàn)細(xì)微拉線等印刷質(zhì)量問題。遇到這一印刷質(zhì)量問題,憑借著長期維修及操作凹印機(jī)所積累的經(jīng)驗書刊印刷,經(jīng)過反復(fù)試驗,提出了切實可行的解決方案,在印刷的單元回墨管路中加裝一套簡單實...
產(chǎn)品特點:1)過濾精度默認(rèn)為10微米,且從10至3000微米可選,過濾面積大,納污量高,用戶可根據(jù)實際工況定制。2)清洗方式簡單,且清洗循環(huán)電子監(jiān)控,可實現(xiàn)自動清洗排污。全自動自清洗過濾器控制系統(tǒng)中的各參數(shù)均可調(diào)節(jié)。3)設(shè)有電機(jī)過載保護(hù),可有效保護(hù)電機(jī)。4)具...
自動清洗水過濾器是用于過濾的設(shè)備,該設(shè)備的工作原理是水由進(jìn)水口進(jìn)入過濾器,首先經(jīng)過粗濾芯組件濾掉較大顆粒的雜質(zhì),然后到達(dá)細(xì)濾網(wǎng),通過細(xì)濾網(wǎng)濾除細(xì)小顆粒的雜質(zhì)后,清水由出水口排出。在過濾過程中,細(xì)濾網(wǎng)的內(nèi)層雜質(zhì)逐漸堆積,它的內(nèi)外兩側(cè)就形成了一個壓差。當(dāng)這個壓差達(dá)...
自動清洗:當(dāng)壓差達(dá)到預(yù)設(shè)值時,自清洗過程開始。排污閥打開,主管組件的水力馬達(dá)室和水力缸釋放壓力并將水排出。由于負(fù)壓作用,吸嘴吸取細(xì)濾網(wǎng)內(nèi)壁的污物,由水力馬達(dá)流入水力馬達(dá)室,然后由排污閥排出。當(dāng)水流經(jīng)水力馬達(dá)時,帶動吸污管進(jìn)行旋轉(zhuǎn),同時由水力缸活塞帶動吸污管作軸...
主要特點自動化程度高無需人工拆洗,通過PLC、壓差傳感器或定時器控制清洗流程。連續(xù)運行清洗時不影響系統(tǒng)正常運行(部分型號需短暫排水)。高效節(jié)能相比傳統(tǒng)過濾器,減少停機(jī)維護(hù)時間,降低能耗。多種過濾精度精度范圍從幾微米到幾百微米,可選不銹鋼網(wǎng)、楔形網(wǎng)、陶瓷等濾材。...