擴散真空泵利用高速蒸汽流(如油蒸汽或汞蒸汽)將氣體分子從進氣口擴散到排氣口,從而實現(xiàn)抽氣目的。它具有極高的抽氣速率和良好的高真空性能,可獲得低于10^-7Pa的超高真空度,在材料科學研究、真空鍍膜技術(shù)中的高純度薄膜制備等方面應(yīng)用普遍。不過,擴散真空泵需要配備合適的前級泵和冷卻系統(tǒng),且由于使用蒸汽作為工作介質(zhì),存在一定的污染風險,在某些對清潔度要求極高的應(yīng)用中可能受到限制。離子真空泵通過電離氣體分子并利用電場將離子驅(qū)趕到泵體表面來實現(xiàn)抽氣。它在超高真空領(lǐng)域表現(xiàn)突出,能夠長時間維持極低的壓力水平(可達10^-9Pa甚至更低),且具有無油、無振動、運行穩(wěn)定等優(yōu)點,特別適用于對真空環(huán)境純度和穩(wěn)定性要求...
滑閥真空泵的工作原理基于滑閥在泵腔中的往復(fù)運動和旋轉(zhuǎn)運動?;y與泵腔內(nèi)壁形成密封空間,當滑閥運動時,密封空間的容積發(fā)生變化,從而實現(xiàn)氣體的吸入、壓縮和排出。滑閥真空泵具有抽氣速率較大、真空度較高(可達10^-2Pa)等特點,在真空鍍膜、真空干燥、真空浸漬等工業(yè)領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。其結(jié)構(gòu)相對緊湊,運行穩(wěn)定性較好,但由于滑閥與泵腔之間存在摩擦,需要定期進行潤滑和維護,以保證其正常運行和使用壽命。分子真空泵包括牽引分子泵和復(fù)合分子泵等類型。牽引分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子與定子之間的牽引作用,使氣體分子獲得定向動量而被排出泵外。復(fù)合分子泵則結(jié)合了多種抽氣機制,如分子牽引、擴散和渦輪分子泵的原理,以提高抽氣...