閔行區(qū)C1906HX205Y24DF分子泵軸承

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-14

分子泵軸承的低溫工況適應(yīng)性:在低溫真空環(huán)境(-196℃至 0℃)中,軸承材料的低溫脆性是關(guān)鍵挑戰(zhàn)。新巴頓選用 AISI 440C 不銹鋼(-196℃時(shí)沖擊功≥15J)制造套圈,配合聚四氟乙烯(PTFE)保持架,在液氦冷卻的分子泵中仍保持良好韌性。潤(rùn)滑方面采用全氟聚醚(PFPE)低溫脂(傾點(diǎn) - 60℃),其粘度指數(shù)>400,在 - 150℃時(shí)仍具有流動(dòng)潤(rùn)滑能力。某超導(dǎo)磁體系統(tǒng)用分子泵采用該方案后,在 - 180℃工況下連續(xù)運(yùn)行 3000 小時(shí),軸承摩擦系數(shù)穩(wěn)定在 0.015-0.02 之間。多道密封結(jié)構(gòu),新巴頓分子泵軸承防泄漏,保障機(jī)械真空系統(tǒng)穩(wěn)定。閔行區(qū)C1906HX205Y24DF分子泵軸承

分子泵軸承

某 12 英寸晶圓廠的刻蝕機(jī)配備 4 臺(tái) 2000L/s 分子泵,原采用進(jìn)口鋼制軸承,平均每 6 個(gè)月因碳化硅顆粒污染導(dǎo)致軸承失效。新巴頓為其定制的 Si?N?陶瓷軸承,配合迷宮式密封結(jié)構(gòu),使軸承壽命延長(zhǎng)至 24 個(gè)月。該方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅顆粒,可減少磨粒磨損;密封唇口采用氟橡膠材質(zhì),在 150℃工況下仍保持彈性,阻止微粒侵入。改造后,該產(chǎn)線的非計(jì)劃停機(jī)率從 8% 降至 1%,年節(jié)約維護(hù)成本 120 萬(wàn)元。此外,公司為某 MOCVD 設(shè)備配套的軸承,通過(guò)在保持架中嵌入石墨自潤(rùn)滑塊,解決了金屬有機(jī)化合物沉積導(dǎo)致的軸承卡死問題,使設(shè)備連續(xù)運(yùn)行時(shí)間突破 10000 小時(shí)。徐匯區(qū)巴頓C1908X205Y23分子泵軸承巴頓分子泵軸承:高效傳輸,提升分子泵性能。

閔行區(qū)C1906HX205Y24DF分子泵軸承,分子泵軸承

高精度分子泵軸承的制造需突破微米級(jí)加工瓶頸。新巴頓采用數(shù)控磨床進(jìn)行套圈滾道加工,其圓度誤差控制在 0.5μm 以內(nèi),表面粗糙度 Ra≤0.1μm,確保高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的低振動(dòng)特性(振動(dòng)加速度≤5m/s2)。陶瓷球的加工更需歷經(jīng) 12 道研磨工序,通過(guò)激光測(cè)振篩選出圓度誤差<0.1μm 的球體,以降低滾動(dòng)體不平衡量。裝配環(huán)節(jié)采用恒溫恒濕車間(溫度 23±1℃,濕度 45±5%),通過(guò)真空注脂技術(shù)確保潤(rùn)滑脂均勻分布,避免氣泡產(chǎn)生。經(jīng)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x檢測(cè),成品軸承的軸向游隙可控制在 5-10μm 的精密區(qū)間,滿足分子泵轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡 G1 級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。

針對(duì)機(jī)械行業(yè)的能效優(yōu)化需求,新巴頓分子泵軸承通過(guò)摩擦學(xué)設(shè)計(jì)降低能量損耗。滾動(dòng)體與滾道的表面粗糙度優(yōu)化至 Ra≤0.05μm,配合低粘度潤(rùn)滑劑(40℃運(yùn)動(dòng)粘度 10-20mm2/s),使摩擦系數(shù)在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定在 0.002-0.005。在磁懸浮分子泵中,這種設(shè)計(jì)可將軸承功耗占比降至整機(jī)的 3% 以下,較傳統(tǒng)設(shè)計(jì)提升能效 12%。通過(guò)摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)測(cè)試(載荷 200N,轉(zhuǎn)速 30000rpm,持續(xù) 100 小時(shí)),軸承的磨損量≤5μm,表面無(wú)明顯劃痕,證明其在機(jī)械長(zhǎng)期運(yùn)行中的低摩擦特性。能效提升的同時(shí),也減少了機(jī)械因摩擦發(fā)熱導(dǎo)致的熱變形風(fēng)險(xiǎn),維持系統(tǒng)精度穩(wěn)定性。巴頓分子泵軸承:適應(yīng)高速運(yùn)轉(zhuǎn),確保系統(tǒng)穩(wěn)定。

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新巴頓根據(jù)機(jī)械工況為分子泵軸承提供精確的潤(rùn)滑脂選型方案。對(duì)于低溫環(huán)境(-40℃以下),選用全氟聚醚脂(PFPE),其傾點(diǎn)≤-60℃,在機(jī)械啟動(dòng)時(shí)的扭矩阻力≤0.05N?m;高速場(chǎng)景(轉(zhuǎn)速>50000rpm)采用硅油基脂,粘度指數(shù)>400,避免高速剪切導(dǎo)致的油脂變稀。在真空泵的實(shí)際應(yīng)用中,通過(guò) DGA(油液氣體分析)發(fā)現(xiàn),正確選型可使?jié)櫥难趸T導(dǎo)期延長(zhǎng)至 2000 小時(shí)以上,較錯(cuò)誤選型減少換脂頻率 50%。潤(rùn)滑脂的滴點(diǎn)控制在 260℃以上,確保機(jī)械在高溫工況(如軸承溫度 120℃)下不發(fā)生油脂流失,維持持續(xù)潤(rùn)滑效果。熱膨脹補(bǔ)償機(jī)制,新巴頓分子泵軸承維持機(jī)械溫度變化下的精度。南京巴頓C36STAY39分子泵軸承

巴頓分子泵軸承:科研探索的精密伙伴。閔行區(qū)C1906HX205Y24DF分子泵軸承

新巴頓對(duì)分子泵軸承的成本構(gòu)成進(jìn)行精細(xì)化管理,以優(yōu)化機(jī)械行業(yè)的性價(jià)比。材料成本占比約 40%,通過(guò)與鋼廠長(zhǎng)期合作(年采購(gòu)量 500 噸以上)獲得價(jià)格折扣;加工成本占比 35%,通過(guò)自動(dòng)化生產(chǎn)線(無(wú)人化率 70%)降低人工費(fèi)用;物流與管理成本占比 25%,通過(guò)集中倉(cāng)儲(chǔ)與信息化系統(tǒng)減少損耗。以型號(hào) 6205 軸承為例,生產(chǎn)成本較行業(yè)平均低 18%,而性能指標(biāo)(如壽命、精度)保持一致。成本優(yōu)化不浪費(fèi)質(zhì)量,通過(guò)價(jià)值工程分析(VE)剔除冗余功能,確保為機(jī)械用戶提供高性價(jià)比的分子泵軸承解決方案。閔行區(qū)C1906HX205Y24DF分子泵軸承