松江區(qū)C36STAY40分子泵軸承

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-13

新巴頓根據(jù)機(jī)械工況為分子泵軸承提供精確的潤(rùn)滑脂選型方案。對(duì)于低溫環(huán)境(-40℃以下),選用全氟聚醚脂(PFPE),其傾點(diǎn)≤-60℃,在機(jī)械啟動(dòng)時(shí)的扭矩阻力≤0.05N?m;高速場(chǎng)景(轉(zhuǎn)速>50000rpm)采用硅油基脂,粘度指數(shù)>400,避免高速剪切導(dǎo)致的油脂變稀。在真空泵的實(shí)際應(yīng)用中,通過(guò) DGA(油液氣體分析)發(fā)現(xiàn),正確選型可使?jié)櫥难趸T導(dǎo)期延長(zhǎng)至 2000 小時(shí)以上,較錯(cuò)誤選型減少換脂頻率 50%。潤(rùn)滑脂的滴點(diǎn)控制在 260℃以上,確保機(jī)械在高溫工況(如軸承溫度 120℃)下不發(fā)生油脂流失,維持持續(xù)潤(rùn)滑效果。巴頓分子泵軸承:智能監(jiān)測(cè)系統(tǒng),保障系統(tǒng)安全。松江區(qū)C36STAY40分子泵軸承

分子泵軸承

分子泵軸承作為真空系統(tǒng)主要部件,承擔(dān)著支撐高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子、確保真空腔體內(nèi)氣流穩(wěn)定的關(guān)鍵作用。其工作環(huán)境通常要求轉(zhuǎn)速高達(dá) 10 萬(wàn) - 15 萬(wàn)轉(zhuǎn) / 分鐘,因此對(duì)軸承的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性、耐磨性能及熱傳導(dǎo)性提出嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。在半導(dǎo)體制造中,分子泵軸承需維持納米級(jí)制程所需的超高真空(10??Pa 以下),若軸承失效將導(dǎo)致腔室污染,直接影響芯片良率。新巴頓(上海)軸承銷(xiāo)售有限公司針對(duì)此類(lèi)需求,提供基于陶瓷球與不銹鋼套圈的組合方案,通過(guò)優(yōu)化滾道弧度設(shè)計(jì),使軸承在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的溫升控制在 30℃以?xún)?nèi),滿(mǎn)足半導(dǎo)體設(shè)備 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行的可靠性要求。虹口區(qū)巴頓VAC626AC003分子泵軸承巴頓分子泵軸承:高效傳輸,提升分子泵性能。

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高速真空環(huán)境下的潤(rùn)滑是分子泵軸承的技術(shù)難點(diǎn)。新巴頓采用油氣混合潤(rùn)滑技術(shù),通過(guò)微量油霧(0.01-0.05ml/h)與壓縮空氣的精確配比,在軸承滾道表面形成納米級(jí)潤(rùn)滑膜,既避免傳統(tǒng)脂潤(rùn)滑的積碳問(wèn)題,又將摩擦功耗降低 60%。對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈室需求,公司開(kāi)發(fā)的全氟聚醚(PFPE)潤(rùn)滑脂,其揮發(fā)分低于 0.1%,滿(mǎn)足 ISO 14644-1 Class 5 級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn),且在 10??Pa 真空度下仍保持穩(wěn)定潤(rùn)滑狀態(tài)。該潤(rùn)滑方案使軸承維護(hù)周期從傳統(tǒng)的 3 個(gè)月延長(zhǎng)至 12 個(gè)月,大幅降低半導(dǎo)體產(chǎn)線(xiàn)的停機(jī)成本。

針對(duì)機(jī)械行業(yè)的能效優(yōu)化需求,新巴頓分子泵軸承通過(guò)摩擦學(xué)設(shè)計(jì)降低能量損耗。滾動(dòng)體與滾道的表面粗糙度優(yōu)化至 Ra≤0.05μm,配合低粘度潤(rùn)滑劑(40℃運(yùn)動(dòng)粘度 10-20mm2/s),使摩擦系數(shù)在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定在 0.002-0.005。在磁懸浮分子泵中,這種設(shè)計(jì)可將軸承功耗占比降至整機(jī)的 3% 以下,較傳統(tǒng)設(shè)計(jì)提升能效 12%。通過(guò)摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)測(cè)試(載荷 200N,轉(zhuǎn)速 30000rpm,持續(xù) 100 小時(shí)),軸承的磨損量≤5μm,表面無(wú)明顯劃痕,證明其在機(jī)械長(zhǎng)期運(yùn)行中的低摩擦特性。能效提升的同時(shí),也減少了機(jī)械因摩擦發(fā)熱導(dǎo)致的熱變形風(fēng)險(xiǎn),維持系統(tǒng)精度穩(wěn)定性。新巴頓分子泵軸承解決用戶(hù)難題,提供專(zhuān)業(yè)技術(shù)支持服務(wù)。

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新巴頓通過(guò)大量失效案例總結(jié)出分子泵軸承的主要失效模式及預(yù)防措施。磨損失效多因潤(rùn)滑不足或污染引起,預(yù)防措施包括安裝高效過(guò)濾器(精度≤3μm)、定期檢測(cè)油樣顆粒度;疲勞失效通常由過(guò)載或振動(dòng)導(dǎo)致,需通過(guò)載荷計(jì)算優(yōu)化軸承選型,安裝減振墊(剛度 10-50N/μm)降低振動(dòng)。在機(jī)械故障分析報(bào)告中,該公司發(fā)現(xiàn) 80% 的軸承失效可通過(guò)正確選型、規(guī)范安裝和定期維護(hù)避免,因此為用戶(hù)提供《分子泵軸承失效預(yù)防指南》,包含 12 項(xiàng)關(guān)鍵控制點(diǎn),如安裝時(shí)的同軸度要求(≤0.02mm)、潤(rùn)滑脂補(bǔ)充周期(每 2000 小時(shí))等,幫助機(jī)械用戶(hù)降低失效風(fēng)險(xiǎn)。巴頓分子泵軸承:新能源領(lǐng)域的伙伴。C1905X205Y12分子泵軸承銷(xiāo)售

高效節(jié)能設(shè)計(jì),讓新巴頓分子泵軸承降低運(yùn)行成本更明顯。松江區(qū)C36STAY40分子泵軸承

針對(duì)分子泵高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的復(fù)雜載荷,新巴頓在軸承結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上進(jìn)行深度優(yōu)化。角接觸球軸承采用 28° 接觸角的定制化設(shè)計(jì),相較于常規(guī) 15° 接觸角產(chǎn)品,軸向承載能力提升了 60%,能更好地應(yīng)對(duì) 15 萬(wàn)轉(zhuǎn) / 分鐘高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的陀螺力矩。通過(guò)有限元分析模擬,精確控制軸承的軸向游隙在 8μm 左右,在 - 20℃至 120℃的溫度區(qū)間內(nèi),可自動(dòng)補(bǔ)償因熱脹冷縮產(chǎn)生的形變,確保轉(zhuǎn)子軸向竄動(dòng)誤差控制在 ±3μm 以?xún)?nèi)。某科研機(jī)構(gòu)的分子泵設(shè)備應(yīng)用該設(shè)計(jì)后,系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性大幅提升,振動(dòng)值從原來(lái)的 12m/s2 降至 4m/s2,達(dá)到 ISO 10816-1 標(biāo)準(zhǔn) Class 1 的嚴(yán)苛要求,為精密實(shí)驗(yàn)提供了可靠保障。松江區(qū)C36STAY40分子泵軸承