江蘇C1910X205Y101分子泵軸承

針對機械行業(yè)多樣化的工況，新巴頓分子泵軸承采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計。深溝球軸承結(jié)構(gòu)適用于低載荷高速場景（如實驗室小型分子泵），其游隙控制在 C2 級，保證轉(zhuǎn)速達 50000rpm 時的運轉(zhuǎn)精度；角接觸軸承則用于需要承受軸向載荷的機械系統(tǒng)（如大型真空冶煉設(shè)備），通過配對使用可承受雙向軸向力，軸向剛度提升 30% 以上。在磁懸浮分子泵中，軸承與磁懸浮系統(tǒng)的配合間隙控制在 5-10μm，既滿足機械支撐需求，又避免電磁干擾。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計使軸承在機械行業(yè)的真空泵啟動階段（0-3000rpm 加速過程）能有效抑制振動，振幅控制在 50μm 以內(nèi)，保障設(shè)備運行平穩(wěn)性。巴頓分子泵軸承：高性能分子泵軸承，助力半導(dǎo)體生產(chǎn)。江蘇C1910X205Y101分子泵軸承

新巴頓分子泵軸承在加工過程中進行高精度動平衡處理，殘余不平衡量≤1g?mm/kg，確保機械運轉(zhuǎn)時的低振動特性。在大型分子泵機組中，軸承與轉(zhuǎn)子的組合動平衡等級達到 G1.0（ISO 1940 標(biāo)準(zhǔn)），當(dāng)轉(zhuǎn)速 30000rpm 時，軸承座振動速度≤1.0mm/s。這種動態(tài)平衡技術(shù)可避免機械系統(tǒng)因振動導(dǎo)致的連接件松動、密封失效等問題，尤其適用于半導(dǎo)體光刻機的真空系統(tǒng) —— 該場景要求振動振幅＜10μm，軸承的高精度平衡配合阻尼器設(shè)計，可將振動控制在 5μm 以內(nèi)，保障光刻工藝的精度。長寧區(qū)C1909HX205Y27DF分子泵軸承國際物流網(wǎng)絡(luò)完善，新巴頓分子泵軸承實現(xiàn)全球快速供應(yīng)。

在磁懸浮分子泵系統(tǒng)中，新巴頓的磁浮備用軸承發(fā)揮著安全保障作用。當(dāng)磁懸浮系統(tǒng)斷電時，備用軸承需在 0.1 秒內(nèi)承接轉(zhuǎn)子載荷，避免高速轉(zhuǎn)子墜落損壞。公司設(shè)計的圓錐滾子備用軸承，采用淬火后 HRC62-64 的滲碳軸承鋼，配合凸度修形技術(shù)，可承受瞬間高達 100g 的沖擊載荷。其與磁浮軸承的間隙控制在 0.1-0.2mm，既保證磁浮運行時的無接觸狀態(tài)，又確保斷電時的可靠承接。某科研用高真空系統(tǒng)采用該方案后，成功通過 1000 次斷電測試，軸承未出現(xiàn)任何塑性變形，滿足 ISO 16890 標(biāo)準(zhǔn)的嚴(yán)苛要求。

分子泵軸承在 10??Pa 以上的超高真空環(huán)境中運行時，材料的出氣率成為關(guān)鍵指標(biāo)。新巴頓采用真空除氣工藝對軸承組件進行預(yù)處理，通過在 120℃真空爐中烘烤 24 小時，使不銹鋼套圈的水汽釋放率降至 5×10??Pa?m3/s 以下。針對真空鍍膜設(shè)備中鋁蒸汽冷凝導(dǎo)致的軸承卡死問題，公司開發(fā)的迷宮式密封結(jié)構(gòu)，通過多道曲徑密封槽與擋油環(huán)配合，將蒸汽侵入量減少 90%。某光學(xué)鍍膜企業(yè)使用該方案后，軸承更換周期從 1 個月延長至 8 個月，大幅降低了因停機導(dǎo)致的產(chǎn)能損失。巴頓分子泵軸承：獨特潤滑系統(tǒng)，降低維護成本。

新巴頓分子泵軸承采用多道密封結(jié)構(gòu)設(shè)計，以滿足機械行業(yè)對真空系統(tǒng)的防泄漏要求。主密封采用迷宮式密封與骨架油封組合，迷宮間隙控制在 0.1-0.3mm，配合真空泵油形成液封，泄漏率≤1×10??Pa?m3/s。在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中，這種密封系統(tǒng)可防止工藝氣體（如 NF?、Cl?）滲入軸承腔，避免潤滑劑失效。輔助密封采用 O 型圈（材質(zhì)為氟橡膠 Viton），耐溫范圍 - 20℃至 + 200℃，在機械啟停的溫度波動中保持彈性，確保密封面的貼合壓力≥0.5MPa。密封系統(tǒng)的整體設(shè)計使分子泵軸承在 10??Pa 高真空環(huán)境下仍能維持穩(wěn)定的密封性能，為機械工藝的真空度提供可靠保障。高速極限轉(zhuǎn)速達 60000rpm，新巴頓分子泵軸承滿足機械高速運轉(zhuǎn)要求。上海巴頓C1907HX205Y25DF分子泵軸承

巴頓分子泵軸承：技術(shù)支持，解決客戶難題。江蘇C1910X205Y101分子泵軸承

新巴頓為機械行業(yè)用戶提供標(biāo)準(zhǔn)化的軸承安裝指南。安裝前需測量配合尺寸（軸頸公差 h5，座孔公差 H6），采用溫差法安裝（軸承加熱至 80-100℃，軸冷卻至 - 10-0℃），避免敲擊損傷滾道。在渦輪分子泵裝配中，軸承的軸向預(yù)緊力控制在 50-100N，通過彈簧加載或螺紋調(diào)整實現(xiàn)，預(yù)緊力偏差≤5%。調(diào)試階段使用振動檢測儀（如 VMI 6320），確保軸承運行時的加速度值≤5m/s2。這種規(guī)范的安裝調(diào)試流程，可使機械系統(tǒng)的軸承早期故障率降低 70%，尤其適用于自動化生產(chǎn)線的快速裝配，減少機械停機時間。江蘇C1910X205Y101分子泵軸承