光源:提供相干光,通常是激光,因?yàn)榧す饩哂懈叨鹊南喔尚?,能夠產(chǎn)生穩(wěn)定的干涉條紋。分束器:將光束分成兩部分,通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡:調(diào)節(jié)光程差,確保兩束光在干涉屏(或檢測器)上相遇時具有合適的相位差。干涉屏(或檢測器):顯示干涉結(jié)果,或?qū)⒏缮婧蟮墓馐D(zhuǎn)換為電信號進(jìn)行進(jìn)一步分析。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進(jìn)行分類,常見的分類方法包括:按結(jié)構(gòu)區(qū)分:分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中,干涉的波通過同一路徑傳播,如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等;而多路徑干涉儀中,干涉的波通過不同的路徑傳播,如邁克爾遜干涉儀。即使光強(qiáng)衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號。昆山耐用雙頻激光干涉儀維保
常見的干涉儀包括:邁克爾遜干涉儀:由阿爾伯特·邁克爾遜發(fā)明,主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。它通過將光束分成兩部分,分別經(jīng)過不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣。法布里-佩**涉儀:由查爾斯·法布里和阿爾弗雷德·佩羅發(fā)明,主要用于高精度的光譜分析。它通過多次反射在兩個平面鏡之間形成干涉。光纖干涉儀:利用光纖中的光波干涉現(xiàn)象,廣泛應(yīng)用于傳感器、通信等領(lǐng)域。干涉儀的應(yīng)用包括測量微小位移、折射率、波長、材料的光學(xué)特性等。在科學(xué)研究和工業(yè)檢測中,干涉儀是一種非常重要的工具。姑蘇區(qū)本地雙頻激光干涉儀性價(jià)比抗干擾能力強(qiáng):由于使用了兩種不同頻率的激光,干涉儀對環(huán)境噪聲和振動的抗干擾能力較強(qiáng)。
環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng):雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大,即使光強(qiáng)衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號。因此,它既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)使用,也可在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實(shí)時動態(tài)測速高:現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達(dá)到1m/s,有的甚至達(dá)到十幾m/s,適于高速動態(tài)測量。三、應(yīng)用領(lǐng)域幾何量精密測量:用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測量。同時,既支持幾十米大量程的檢測(如大型機(jī)械),也可對手表零件等微米級運(yùn)動進(jìn)行測量。
另一方面,當(dāng)可動棱鏡移動時,前者的干涉信號是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號,而后者的干涉信號是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f,結(jié)果依然是一個交流信號。因而對于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大,這樣,即使光強(qiáng)衰減90%,依然可以得到合適的電信號。精度高雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級,細(xì)分后更可達(dá)到nm量級。應(yīng)用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等邁克爾遜干涉儀:由阿爾伯特·邁克爾遜發(fā)明,主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。
分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種:單頻激光干涉儀:在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn),**初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺,后用于在計(jì)量室中精密測長。它對環(huán)境要求較高,周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài),以避免空氣湍流對測量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀:出現(xiàn)于1970年,適宜在車間中使用。它應(yīng)用頻率變化來測量位移,對由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強(qiáng)。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng)。三、應(yīng)用雙頻激光干涉儀是一種高精度、高靈敏度的測量工具,適用于各種科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用。姑蘇區(qū)耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級,細(xì)分后更可達(dá)到nm量級。昆山耐用雙頻激光干涉儀維保
但是這種單頻的激光儀并非完美,它的一個根本弱點(diǎn)就是受環(huán)境影響嚴(yán)重,在測試環(huán)境惡劣,測量距離較長時,這一缺點(diǎn)十分突出。其原因在于它是一種直流測量系統(tǒng),必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動反光鏡移動時,光電接收器會輸出信號,如果信號超過了計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平則就會被記錄下來,而如果激光束強(qiáng)度發(fā)生變化,就有可能使光電信號低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù),使激光器強(qiáng)度或干涉信號強(qiáng)度變化的主要原因是空氣湍流,機(jī)床油霧,切削屑對光束的影響,結(jié)果光束發(fā)生偏移或波面扭曲。昆山耐用雙頻激光干涉儀維保
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