壓力調(diào)整1、調(diào)整膠輥壓力根據(jù)印版的厚度范圍調(diào)節(jié)各膠輥之間的壓力,保證無竄液或竄液小顯影/水洗、水洗/涂膠、涂膠/烘干,版每次從兩膠輥出來都是干凈的調(diào)節(jié)上膠輥之間的壓力,可調(diào)節(jié)上膠的厚薄,保證上膠膠輥的硬度適應(yīng)于印版,在保證上述要求的情況下,壓力盡可能小,壓力過大,增大顯影機(jī)負(fù)載,并易卡版2、調(diào)整刷輥壓力毛刷干凈柔韌,無毛刺,不劃傷版面根據(jù)測試結(jié)果調(diào)節(jié)壓力,保證網(wǎng)點還原壓力盡可能小,壓力大版材難通過,實地和小網(wǎng)點容易損失毛刷輥旋轉(zhuǎn)方向與版材前進(jìn)方向相逆,有利于顯影效果用手感覺水壓,有力,保證水洗充分。南通優(yōu)勢涂膠顯影機(jī)量大從優(yōu)
3)磁穗刮板:磁穗刮板控制顯影套筒(磁輥)輸送的顯影劑的量,這樣顯影劑磁穗將與感光鼓表面恰當(dāng)接觸。4)攪拌輪:顯影劑混合時會產(chǎn)生墨粉和載體的摩擦。因為載體充上正電荷,而墨粉會充上負(fù)電荷,從而通過摩擦產(chǎn)生的靜電會將充電的載體和墨粉依附在鼓表面。5)ATDC(磁通密度傳感器/自動墨粉傳感器):顯影劑中的載體與墨粉(即墨粉濃度)應(yīng)保持固定的比例,從而才能打印出正常的圖像。ATDC通過磁橋電路檢測顯影劑中的墨粉的比率。當(dāng)傳感器探測到墨粉量不足時,它會驅(qū)動墨粉電機(jī)從墨粉盒中添加新粉。新吳區(qū)品牌涂膠顯影機(jī)廠家供應(yīng)定期徹底清洗膠輥,保證各膠輥之間壓力均勻(每周一次);
片傳動方式基本分為兩類:齒輪傳動:膠片在洗片機(jī)輸片片路中,大都由自由轉(zhuǎn)動的滑輪組支承并在滑輪間螺旋穿行,由滑輪組配備的傳遞動力的輸片齒輪通過影片片孔硬性傳動。這種方法結(jié)構(gòu)簡單,容易保證張力均勻分布。摩擦傳動:用表面有凸起物的彈性塑料圈外套的摩擦輪帶動影片,摩擦輪的轉(zhuǎn)速由膠片張力自行調(diào)節(jié)。摩擦傳動不用齒輪,同一臺機(jī)器可以沖洗窄寬不同的多種規(guī)格的膠片,并且不會損傷片孔,因此用途極為***。機(jī)器具有速度誤差在±2%以內(nèi)的無級調(diào)速裝置,供改變顯影時間之需要。在緊鄰供收片處有儲片緩沖裝置,因此在運行不間斷的狀態(tài)下,可在機(jī)器頭尾卡住膠片,收取沖洗完畢的影片和續(xù)接尚未沖洗的影片。
勻膠顯影機(jī)是完成除曝光以外的所有光刻工藝的設(shè)備,包括光刻材料的涂布、烘烤、顯影、晶圓背面的清洗以及用于浸沒式工藝的晶圓表面的去離子水沖洗等。勻膠顯影機(jī)一般由四部分組成。***部分是晶圓盒工作站(wafer cassette station),晶圓盒在這里裝載到機(jī)器上。機(jī)械手(robot arm)從晶圓盒中把晶圓抽出來,傳送到工藝處理部分(process block),即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機(jī)的主體,增粘模塊(adhesion enhancement)、熱盤(hot plate)、冷盤(chill plate)、旋涂、顯影等主要工藝單元都安裝在這里,一個或兩個機(jī)械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元,包括晶圓表面水沖洗單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機(jī)聯(lián)機(jī)的接口界面(interface),包括暫時儲存晶圓的緩沖盒(buffer)、晶圓邊緣曝光(wafer edge exposure,WEE)和光刻機(jī)交換晶圓的接口等。 [1]本文的烘干是干燥了,絕非烤版。
應(yīng)用領(lǐng)域涂膠顯影設(shè)備在LED、集成電路、OLED、芯片、半導(dǎo)體功率器件等領(lǐng)域中獲得廣泛應(yīng)用。其中,集成電路是涂膠顯影設(shè)備比較大的應(yīng)用領(lǐng)域。隨著信息化和數(shù)字化程度的不斷加深,以及工業(yè)電子、新能源汽車、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、云計算、消費電子等行業(yè)的快速發(fā)展,集成電路的市場需求不斷增長,為涂膠顯影設(shè)備提供了廣闊的市場空間。結(jié)論綜上所述,涂膠顯影機(jī)作為半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備,在光刻工藝中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。隨著國內(nèi)企業(yè)在涂膠顯影設(shè)備領(lǐng)域的不斷突破和創(chuàng)新,以及市場需求的不斷增長,國產(chǎn)涂膠顯影設(shè)備有望迎來更加廣闊的發(fā)展前景。未來,隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和市場的深入拓展,國產(chǎn)涂膠顯影設(shè)備有望實現(xiàn)完全國產(chǎn)替代,為半導(dǎo)體制造行業(yè)的自主可控和持續(xù)發(fā)展提供有力保障。自動化程度高:可以與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)作業(yè),滿足工廠自動化生產(chǎn)的需求。蘇州挑選涂膠顯影機(jī)廠家現(xiàn)貨
根據(jù)測試結(jié)果調(diào)節(jié)壓力,保證網(wǎng)點還原。南通優(yōu)勢涂膠顯影機(jī)量大從優(yōu)
沖洗系統(tǒng)沖洗系統(tǒng)主要是由兩組噴淋管向版面正反面噴淋清水,以除去附著在版面上的顯影生成物和多余的顯影液,并通過擠壓輥擠去版面上的水分;同時具備二次水洗功能。涂膠系統(tǒng)涂膠系統(tǒng)主要功能是在顯影后的版面上涂上一層均勻的保護(hù)膠。干燥系統(tǒng)干燥系統(tǒng)由送風(fēng)管和膠輥組成,通過吹風(fēng)和加熱使印版迅速干燥,***將印版送出。顯影液配置顯影液配置需參考顯影液說明書和印版說明書,一般推薦使用印版廠家配送的顯影藥液,配置出的顯影液必須保證不同厚度版材的顯影寬容度。南通優(yōu)勢涂膠顯影機(jī)量大從優(yōu)
無錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念,先進(jìn)的管理經(jīng)驗,在發(fā)展過程中不斷完善自己,要求自己,不斷創(chuàng)新,時刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**,在業(yè)界也收獲了很多良好的評價,這些都源自于自身的努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果,這些評價對我們而言是比較好的前進(jìn)動力,也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強(qiáng)、一往無前的進(jìn)取創(chuàng)新精神,努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個新高度,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同凡華供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來,創(chuàng)造更有價值的產(chǎn)品,我們將以更好的狀態(tài),更認(rèn)真的態(tài)度,更飽滿的精力去創(chuàng)造,去拼搏,去努力,讓我們一起更好更快的成長!