虎丘區(qū)通用自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備批量定制

缺陷類型：微粒缺陷（如異物污染）圖形缺陷（如光刻圖案偏移） [1-3]2.檢測(cè)精度：可實(shí)現(xiàn)0.2微米級(jí)缺陷的識(shí)別，滿足45納米工藝節(jié)點(diǎn)的質(zhì)量控制需求 [1-3]。吞吐量：每小時(shí)處理20片300毫米晶圓（基于2021年技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)） [1] [3]適用工藝：45納米及更高制程的集成電路制造 [1-3]主要用于半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的在線缺陷檢測(cè)，覆蓋晶圓前道制程中的關(guān)鍵工藝步驟，確保芯片良率與可靠性 [1-3]。上海集成電路研發(fā)中心有限公司自2011年起使用KLA-Tencor Puma9150型號(hào)設(shè)備（截至2020年），同期配備頻譜分析儀、晶邊缺陷檢查設(shè)備等科研儀器 [2-3]。器件到PCB的邊緣應(yīng)該至少留有3mm（0.12”）的工 藝邊?；⑶饏^(qū)通用自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備批量定制

2D x-ray圖8當(dāng)應(yīng)用2D x-ray技術(shù)時(shí)，所有的器件都需要被布置在 PCB的正面。而用2Dx-ray去檢測(cè)這些器件時(shí)，還必須再定 義出一塊沒(méi)有器件的地方為“禁區(qū)”。對(duì)于有些BGAs，會(huì) 推薦使用一種淚滴型的不對(duì)稱焊盤(pán)設(shè)計(jì)，這使得焊錫的成 型性質(zhì)被系統(tǒng)錯(cuò)誤的判斷為一種幾何的連接形態(tài)；此外， 一些特殊的QFN向內(nèi)或向外的彎月型焊盤(pán)設(shè)計(jì)也同樣有這種情況。QFN 焊盤(pán)設(shè)計(jì)QFN器件的焊盤(pán)尺寸、焊膏印 刷面積與它的引腳尺寸是同樣大小 的，而且器件的引腳是交錯(cuò)排列在 封裝體底部的(圖8)。江蘇安裝自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備銷(xiāo)售電話驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)：控制檢測(cè)區(qū)域移動(dòng)與翻轉(zhuǎn).

始終采用同樣的材料和產(chǎn)品，再加上優(yōu)化的PCB設(shè)計(jì)， 正如上面所描述的那樣，可以減小由于產(chǎn)品的變更對(duì)AOI/ AXI測(cè)試所造成的影響。在這里必須指出，比照所有用于 AOI和AXI 檢查的標(biāo)準(zhǔn)，PCB布局的建議可使檢查工藝適當(dāng) 簡(jiǎn)化并更有效率。DFT可以提高缺陷的檢查率，減少誤報(bào)， 縮短編程時(shí)間和降低編程的難度，從而**終達(dá)到有效降低 產(chǎn)品制造成本的目的。對(duì)無(wú)缺陷生產(chǎn)來(lái)講，自動(dòng)光學(xué)檢查（AOI）是必不可少的。在轉(zhuǎn)到使用無(wú)鉛工藝時(shí)，制造商將面臨新的挑戰(zhàn)，在生產(chǎn)中會(huì)出現(xiàn)其他的問(wèn)題，引起了人們的關(guān)注。本文分析轉(zhuǎn)到無(wú)鉛工藝的整個(gè)過(guò)程，特別是在大規(guī)模生產(chǎn)中引進(jìn)了0402無(wú)鉛元件

作為慣例，在生產(chǎn)中，測(cè)試系統(tǒng)應(yīng)當(dāng)根據(jù)生產(chǎn)批量的要 求建立并優(yōu)化。實(shí)際運(yùn)作中無(wú)數(shù)次地證明，*這樣做是遠(yuǎn) 遠(yuǎn)不夠的。如果在兩周的生產(chǎn)時(shí)間內(nèi)要測(cè)試一個(gè)新批次的 PCB，有可能會(huì)發(fā)生這樣的情況：ELKO的顏色突然由黑色 變?yōu)榱它S色，或者晶體管的引腳變短了、是彎的；或是電阻的顏色由黃色變成了藍(lán)色的，等等。AOI檢查程序必須而且能夠處理這些不同的變化所帶來(lái) 的問(wèn)題。但是，其中的一些變化需要花費(fèi)時(shí)間進(jìn)行處理， 因?yàn)槲覀儾荒茴A(yù)先知道是否有一種新的元器件被使用，或 是存在一個(gè)錯(cuò)誤的元器件布局。同時(shí)，面對(duì)質(zhì)量方面的困 難，大量允許的可能出現(xiàn)的情況也需要一個(gè)一致的，確實(shí) 可行的說(shuō)明。制定設(shè)計(jì)方針，可以有效地簡(jiǎn)化檢查和降低生 產(chǎn)成本。

光學(xué)檢測(cè)儀（Automatic Optic Inspection，簡(jiǎn)稱AOI）是一種基于光學(xué)原理檢測(cè)焊接生產(chǎn)缺陷的自動(dòng)化設(shè)備，主要應(yīng)用于電子制造領(lǐng)域。該設(shè)備通過(guò)攝像頭自動(dòng)掃描印刷電路板（PCB），采集圖像并與預(yù)設(shè)合格參數(shù)進(jìn)行對(duì)比，識(shí)別焊接缺陷如橋接、元件移位等。其軟件具備綜合驗(yàn)證功能，可優(yōu)化檢測(cè)程序以減少誤報(bào)，并支持無(wú)鉛焊膏工藝的適應(yīng)性調(diào)整。系統(tǒng)通過(guò)靈活的傳感器模塊、照明及算法分析，能夠適應(yīng)元件形態(tài)變化，兼容現(xiàn)有生產(chǎn)線設(shè)備。AOI技術(shù)近年快速發(fā)展，已成為電子制造中提升檢測(cè)效率的關(guān)鍵工具之一。多光譜攝像頭：搭載可調(diào)式光學(xué)鏡頭組.高新區(qū)整套自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備維修電話

這是一個(gè)典型地放置檢查機(jī)器的位置，因?yàn)檫@里可發(fā)現(xiàn)來(lái)自錫膏印刷以及機(jī)器貼放的大多數(shù)缺陷?；⑶饏^(qū)通用自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備批量定制

印刷圖案圖3所有印有圖案的PCB也是能夠被檢查的，例如，當(dāng)元 器件的邊框或元器件本體上的字母單獨(dú)出現(xiàn)在組件的某個(gè) 區(qū)域從而干擾對(duì)其他部分的檢查時(shí)，可以手工調(diào)整檢查程 序。盡管如此，在生產(chǎn)允許的范圍內(nèi)，圖案的印刷范圍仍 然有一個(gè)較大的選擇，因此，減少非反射性標(biāo)識(shí)印刷（黑 或暗黃）值得加以考慮。另外一個(gè)可能出現(xiàn)的情況是需要 有選擇地印刷標(biāo)識(shí)：例如，當(dāng)某些特定的器件（如霍爾傳 感器）正面向下時(shí)就必須印刷成白色；而另一種情況是印 有極性標(biāo)志的有傾斜角的鉭電容器件；這樣能使標(biāo)識(shí)和背 景形成鮮明的對(duì)比，使得檢查的圖像更加清晰。虎丘區(qū)通用自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備批量定制

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