上海微流控芯片的制作

微流控芯片的硅質(zhì)材料加工工藝：是在硅材料的加工中，光刻(lithography)和濕法刻蝕(wetetching)技術(shù)是2種常規(guī)工藝。由于硅材料具有良好的光潔度和很成熟的加工工藝，主要用于加工微泵、微閥等液流驅(qū)動(dòng)和控制器件，或者在熱壓法和模塑法中作為高分子聚合物材料加工的陽(yáng)模。光刻是用光膠、掩模和紫外光進(jìn)行微制造。光刻和濕法蝕刻技術(shù)通常由薄膜沉淀、光刻、刻蝕3個(gè)工序組成。在薄膜表面用甩膠機(jī)均勻地附上一層光膠。然后將掩模上的圖像轉(zhuǎn)移到光膠層上，此步驟首先在基片上覆蓋一層薄膜，為光刻。再將光刻上的圖像，轉(zhuǎn)移到薄膜，并在基片上加工一定深度的微結(jié)構(gòu)，此步驟完成了蝕刻。克服微流控芯片所遇到的難題。上海微流控芯片的制作

安捷倫已有一些儀器使用趨向于具有更多可用性方面的經(jīng)驗(yàn)，并將這些經(jīng)驗(yàn)應(yīng)用到了微流體技術(shù)開(kāi)發(fā)上。微流體和生物傳感器的項(xiàng)目經(jīng)理Kevin Killeen博士在接受采訪時(shí)說(shuō)，安捷倫的目標(biāo)是為終端使用者解除負(fù)擔(dān)，“由適宜的儀器產(chǎn)品組裝成的系統(tǒng)可以讓非專(zhuān)業(yè)人士操縱專(zhuān)業(yè)設(shè)備”。微流體技術(shù)也需要適時(shí)表現(xiàn)出其自身的實(shí)用性和可靠性，例如，納米級(jí)電噴霧質(zhì)譜分析（nano-electrospray MS）不必考慮其頂端的閉合及邊帶的加寬，Killeen補(bǔ)充道：“對(duì)于生物學(xué)家來(lái)說(shuō)，微流控技術(shù)的價(jià)值就在于此?！?a href="http://www.hntytc.cn/zdcbsx/5xz6p15792/31526241.html" target="_blank">西藏微流控芯片特征從設(shè)計(jì)到硬質(zhì)塑料芯片成型的快速工藝，大幅縮短研發(fā)周期與試產(chǎn)成本。

在過(guò)去的30年中，微流控芯片已經(jīng)成為cancer therapy領(lǐng)域診斷和cure的重要工具?？梢栽谖⒘骺匦酒线M(jìn)行各種類(lèi)型的細(xì)胞和組織培養(yǎng)，包括2D細(xì)胞培養(yǎng)、3D細(xì)胞培養(yǎng)和組織類(lèi)apparatus培養(yǎng)。患者來(lái)源的cancer和組織以可見(jiàn)、可控和高通量的方式在微流控芯片上培養(yǎng)，這推進(jìn)了個(gè)性化醫(yī)療的過(guò)程。此外，由于可定制的性質(zhì)，微流控芯片的功能正在擴(kuò)展。此外，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)它是較為方便快捷的，因?yàn)樗軌蛱幚砩倭繕悠?，例如?lái)自患者活組織檢查的細(xì)胞，提供高水平的自動(dòng)化，并允許建立用于cancer研究的復(fù)雜模型。在開(kāi)發(fā)用于cure診斷用途的微流控芯片方面做出了各種努力。

高聚物材料加工工藝：是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術(shù)、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導(dǎo)體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽(yáng)模，然后在陽(yáng)模上澆注液體的高分子材料，將固化后的高分子材料與陽(yáng)模剝離后就得到了具有微結(jié)構(gòu)的基片，之后與蓋片(多為玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片。這一方法簡(jiǎn)單易行，不需要高技術(shù)設(shè)備，是大量生產(chǎn)廉價(jià)芯片的方法。熱壓法也需要事先獲得適當(dāng)?shù)年?yáng)模。可定制加工小批量 PDMS、硬質(zhì)塑料、玻璃、硅片等材質(zhì)的微流控芯片。

安捷倫在微流控技術(shù)平臺(tái)上的三個(gè)主要產(chǎn)品是Agilent 2100、 Bioanalyzer/5100、 Automated Lab-on-a-Chip （后有斯坦福大學(xué)Stephen Quake研究小組開(kāi)發(fā)的微流體控制因素大規(guī)模地綜合應(yīng)用和瑞士Spinx Technologies開(kāi)發(fā)的激光控制閥門(mén)。澳大利亞墨爾本蒙納士大學(xué)的研究者正在開(kāi)發(fā)可在微通道內(nèi)吸取、混合和濃縮分析樣品的等離子體偏振方法。等離子體不接觸工作流體便可產(chǎn)生“推力”，具有維持流體穩(wěn)定流動(dòng)，對(duì)電解質(zhì)溶液不敏感也不受其污染的優(yōu)點(diǎn)。瑞士蘇黎士聯(lián)邦工業(yè)大學(xué)的David Juncker認(rèn)為，流體的驅(qū)動(dòng)沒(méi)有必要采用這類(lèi)高新技術(shù)，利用簡(jiǎn)單的毛細(xì)管效應(yīng)就可以驅(qū)動(dòng)流體通過(guò)微通道。完善 PDMS 芯片產(chǎn)線覆蓋來(lái)料加工、生產(chǎn)、質(zhì)檢，支持高標(biāo)準(zhǔn)批量交付。湖南微流控芯片

多樣化微流控芯片加工案例覆蓋數(shù)字 PCR、單分子檢測(cè)、POCT 等多個(gè)領(lǐng)域。上海微流控芯片的制作

微流控芯片的未來(lái)發(fā)展與公司技術(shù)儲(chǔ)備：面對(duì)微流控技術(shù)向集成化、智能化發(fā)展的趨勢(shì)，公司持續(xù)投入三維多層流道加工、芯片與微納傳感器/執(zhí)行器的異質(zhì)集成，以及生物相容性材料創(chuàng)新。在技術(shù)儲(chǔ)備方面，已突破10μm以下尺度的納米流道加工（結(jié)合電子束光刻與納米壓印），為單分子DNA測(cè)序芯片奠定基礎(chǔ)；開(kāi)發(fā)了基于形狀記憶合金的微閥驅(qū)動(dòng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)芯片內(nèi)流體的主動(dòng)控制；儲(chǔ)備了可降解聚合物（如聚乳酸-羥基乙酸共聚物，PLGA）微流控芯片工藝，適用于體內(nèi)植入式檢測(cè)設(shè)備。未來(lái)，公司將聚焦“芯片實(shí)驗(yàn)室”全集成解決方案，推動(dòng)微流控技術(shù)在個(gè)性化醫(yī)療、環(huán)境監(jiān)測(cè)、食品安全等領(lǐng)域的深度應(yīng)用，通過(guò)持續(xù)創(chuàng)新保持在微納加工與生物傳感芯片領(lǐng)域的技術(shù)地位。上海微流控芯片的制作