江蘇微流控芯片共同合作

玻璃基微流控芯片的精密刻蝕與鍵合工藝：玻璃因其高透光性、化學(xué)穩(wěn)定性及表面平整性，成為光學(xué)檢測類微流控芯片的理想材料。公司采用濕法刻蝕與干法刻蝕結(jié)合工藝，在玻璃基板上實現(xiàn)1-200μm深度的微流道加工，配合雙面光刻對準(zhǔn)技術(shù)，確保流道結(jié)構(gòu)的三維高精度匹配?？涛g后的玻璃芯片通過高溫鍵合（300-450℃）或陽極鍵合實現(xiàn)密封，鍵合強(qiáng)度可達(dá)5MPa以上，耐受高壓流體傳輸（如100kPa壓力下無泄漏）。典型應(yīng)用包括熒光顯微成像芯片、拉曼光譜檢測芯片，其光滑的玻璃表面可直接進(jìn)行生物分子修飾，用于DNA雜交、蛋白質(zhì)吸附等反應(yīng)。公司在玻璃芯片加工中攻克了大尺寸基板（如4英寸晶圓）的均勻刻蝕難題，通過優(yōu)化刻蝕液配比與等離子體參數(shù)，將流道深度誤差控制在±2%以內(nèi)，滿足前端科研與工業(yè)檢測對芯片一致性的嚴(yán)苛要求。微流控技術(shù)能夠把樣本檢測整個過程集中在幾厘米的芯片上。江蘇微流控芯片共同合作

什么是微流控技術(shù)？微流控技術(shù)是一門精確控制和操縱流體的科學(xué)技術(shù)，這些流體在幾何空間上被限制在小規(guī)模流道中，通常流道系統(tǒng)的直徑低于100μm。對于科學(xué)家和工程師來講，微流體一詞的使用方式存在不同；對許多教授來說，微流控是一個科學(xué)領(lǐng)域，主要應(yīng)用于通過直徑在100微米（μm）到1微米之間的流道研究和操縱微量流體。對微流控工程師來講，微流控芯片（通常稱為：生物MEMS芯片）的制造，主要是為了引導(dǎo)流體在直徑為100μm至1μm的流道系統(tǒng)中流動。廣東微流控芯片之柔性電極定制微流控分為被動式微流控和主動式微流控。

腎臟組織微流控器官芯片（KoC）：傳統(tǒng)方法或常規(guī)方法的局限性，例如細(xì)胞功能和生理學(xué)的變化或不適當(dāng)，使得腎單位的病理生理學(xué)研究不準(zhǔn)確且容易出錯。相比之下，與微流控技術(shù)的集成已被證明可以產(chǎn)生更好和更精確的結(jié)果。KoC基本上是通過將腎小管細(xì)胞與微流控芯片技術(shù)相結(jié)合來制備的。它主要用于評估腎毒性。在臨床前階段能篩查出2%的失敗藥物，利用微流控技術(shù)能在臨床階段后檢測出約20%的失敗藥物。這證明了使用KoC在單個微型芯片上研究人類腎單位的合理性。

微流控芯片的硅質(zhì)材料加工工藝：是在硅材料的加工中，光刻(lithography)和濕法刻蝕(wetetching)技術(shù)是2種常規(guī)工藝。由于硅材料具有良好的光潔度和很成熟的加工工藝，主要用于加工微泵、微閥等液流驅(qū)動和控制器件，或者在熱壓法和模塑法中作為高分子聚合物材料加工的陽模。光刻是用光膠、掩模和紫外光進(jìn)行微制造。光刻和濕法蝕刻技術(shù)通常由薄膜沉淀、光刻、刻蝕3個工序組成。在薄膜表面用甩膠機(jī)均勻地附上一層光膠。然后將掩模上的圖像轉(zhuǎn)移到光膠層上，此步驟首先在基片上覆蓋一層薄膜，為光刻。再將光刻上的圖像，轉(zhuǎn)移到薄膜，并在基片上加工一定深度的微結(jié)構(gòu)，此步驟完成了蝕刻。深硅刻蝕實現(xiàn) 500μm 以上深度微流道，適用于高壓流體控制與微反應(yīng)器。

基于微流控技術(shù)的生物醫(yī)學(xué)，應(yīng)用微流控技術(shù)在藥物篩選、蛋白質(zhì)組學(xué)、醫(yī)學(xué)診斷、生物傳感器和組織工程等方面有著很好的應(yīng)用前景。微流控芯片技術(shù)在藥物開發(fā)、農(nóng)藥殘留分析、檢測和食品安全傳感中發(fā)揮著重要作用，芯片也可以與其他各種設(shè)備集成，即比色計，熒光計和分光光度計。它有助于監(jiān)測hormone secretion、與HPLC結(jié)合的肽分析、腫瘤細(xì)胞代謝分析以及其他一些應(yīng)用。在藥物分析層面，它主要強(qiáng)調(diào)化學(xué)部分的鑒定、表征、純化和結(jié)構(gòu)闡明。據(jù)報道，在分析過程中，有幾個重大挑戰(zhàn)可能會阻礙結(jié)果，即吞吐量低、需要大量樣品或試劑、過程中準(zhǔn)確性降低和繁瑣。在這種情況下，采用微流控芯片技術(shù)來減少這些挑戰(zhàn)。深度解析微流控芯片技術(shù)。定制微流控芯片的微加工

MEMS 工藝實現(xiàn)超薄柔性生物電極定制，用于腦機(jī)接口電刺激與電信號記錄。江蘇微流控芯片共同合作

微流控芯片對自身抗體檢測：自身抗體可以在大多數(shù)自身免疫性疾病中發(fā)現(xiàn)，如系統(tǒng)性紅斑狼瘡、系統(tǒng)性硬化等，此外也有證據(jù)表明自身抗體與心血管疾病、慢性tumour等疾病相關(guān)，部分自身抗體具有致病性、疾病特異性和診斷性。在疾病早期或疾病前期，自身抗體濃度便會升高，因而自身抗體具有早期預(yù)警價值；目前臨床上，很多自身抗體用于自身免疫病常規(guī)診療檢測，對自身免疫性疾病的診斷、監(jiān)測及預(yù)后有重要價值。由于技術(shù)的限制，目前絕大多數(shù)已發(fā)現(xiàn)的自身抗體并未用于常規(guī)臨床診斷。江蘇微流控芯片共同合作