超精密加工技術(shù)是指加工精度達(dá)到亞微米甚至納米級(jí)別的制造技術(shù),主要包括超精密車削、磨削、銑削和電化學(xué)加工等方法。這些技術(shù)廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件、航空航天、精密模具、半導(dǎo)體和醫(yī)療器械等領(lǐng)域,能夠滿足高精度、高表面質(zhì)量的產(chǎn)品需求。超精密鉆孔技術(shù)是一種高精度加工方法,能夠?qū)崿F(xiàn)微米級(jí)甚至亞微米級(jí)的加工精度。該技術(shù)廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、精密儀器等領(lǐng)域,主要用于加工微型孔、異形孔等復(fù)雜結(jié)構(gòu)。其加工設(shè)備通常包括數(shù)控機(jī)床、激光鉆孔系統(tǒng)等,并采用特種刀具和特殊控制系統(tǒng)以確保加工質(zhì)量。超精密激光切割的切縫小、變形小、切割面光滑、平整、美觀,無須后序處理。納米級(jí)超精密MLCC輪刀
精密零件的加工生產(chǎn)離不開精密切削技術(shù),半導(dǎo)體/LCD、MLCC、二次電池等領(lǐng)域尤其使用精密零件。一般磨削技術(shù)的問題是,磨削后要根據(jù)葉輪磨損量繼續(xù)進(jìn)行修整,修整后葉輪表面會(huì)發(fā)生細(xì)微變化,因此很難保持相同的質(zhì)量。相反,ELID研磨技術(shù)可以解決這些問題,因?yàn)闊o需研磨即可連續(xù)工作。微泰的ELID(在線砂輪修正)技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)為基礎(chǔ),實(shí)現(xiàn)高精度的切削加工技術(shù),由此生產(chǎn)的產(chǎn)品具有一般難以生產(chǎn)的高精度平坦度和質(zhì)量。提高真空板(VACUUM板)表面粗糙度,改善刀片的表面粗糙度,減少研磨時(shí)的Burr,無需手動(dòng)調(diào)整可以連續(xù)穩(wěn)定作業(yè)。刀片可以做到,材料:碳化鎢、氧化鋯等。刀片厚度(t1):100?葉片。邊緣厚度(t2):低于0.2?。刀刃線性度:低于5?。刀刃對(duì)稱性:低于3?。刀片邊緣粗糙度:Ra0.02?。角度(θ)精度:±0.3°超硬超精密氣體流量閥不受加工數(shù)量的限制,對(duì)于小批量加工服務(wù),激光超精密加工更加便宜。
精密磨削技術(shù)-電解在線砂輪修整技術(shù)(ELID)對(duì)于精密零件的加工生產(chǎn),精密磨削技術(shù)是必不可少的。在半導(dǎo)體/LCD、MLCC和新能源電池等領(lǐng)域中,精密元件的使用率很高。常見的磨削技術(shù)的問題是,必須根據(jù)磨削后的弓形磨損量繼續(xù)修整,這給保持同等質(zhì)量帶來了困難,因?yàn)楸砻鏍顩r會(huì)發(fā)生細(xì)微變化。簡(jiǎn)而言之,ELID磨削技術(shù)是一種在不斷修整的同時(shí)進(jìn)行拋光的技術(shù)。微泰采用了高精度的磨削技術(shù),這些技術(shù)都以ELID技術(shù)和專有技術(shù)為基礎(chǔ),在這種技術(shù)中,我們生產(chǎn)的產(chǎn)品具有高精度、平坦度和高質(zhì)量,這是很難生產(chǎn)的。真空板ELID磨削技術(shù)ELID磨削技術(shù)(真空板)。利用電解在線砂輪修整技術(shù)(ELID),提高真空吸附板、刀片的表面粗糙度,減少研磨時(shí)的毛刺,減少手動(dòng)調(diào)節(jié)提高作業(yè)自動(dòng)化。400mm見方的真空板平面度可達(dá)5um。
在過去相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)期,由于受到西方國(guó)家的禁運(yùn)限制,我國(guó)進(jìn)口國(guó)外超精密機(jī)床嚴(yán)重受限。但當(dāng)1998年我國(guó)自己的數(shù)控超精密機(jī)床研制成功后,西方國(guó)家馬上對(duì)我國(guó)開禁,我國(guó)現(xiàn)在已經(jīng)進(jìn)口了多臺(tái)超精密機(jī)床。我國(guó)北京機(jī)床研究所、航空精密機(jī)械研究所(航空303)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、科技大學(xué)等單位現(xiàn)在已能生產(chǎn)若干種超精密數(shù)控金剛石機(jī)床。北京機(jī)床研究所是國(guó)內(nèi)進(jìn)行超精密加工技術(shù)研究的主要單位之一,研制出了多種不同類型的超精密機(jī)床、部件和相關(guān)的高精度測(cè)試儀器等,如精度達(dá)0.025μm的精密軸承、JCS—027超精密車床、JCS—031超精密銑床、JCS—035超精密車床、超精密車床數(shù)控系統(tǒng)、復(fù)印機(jī)感光鼓加工機(jī)床、紅外大功率激光反射鏡、超精密振動(dòng)-位移測(cè)微儀等,達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平。超精密加工技術(shù)能輔助的產(chǎn)業(yè)很廣,機(jī)械、汽車、半導(dǎo)體,只要想提升產(chǎn)品的精致度,就需仰賴精密加工的輔助。
高精度、高效率高精度與高效率是超精密加工永恒的主題??偟膩碚f,固著磨粒加工不斷追求著游離磨粒的加工精度,而游離磨粒加工不斷追求的是固著磨粒加工的效率。當(dāng)前超精密加技術(shù)如CMP、EEM等雖能獲得極高的表面質(zhì)量和表面完整性,但以部分放棄加工效率為保證。超精密切削、磨削技術(shù)雖然加工效率高,但無法獲得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顧效率與精度的加工方法,成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標(biāo)。半固著磨粒加工方法的出現(xiàn)即體現(xiàn)了這一趨勢(shì)。另一方面表現(xiàn)為電解磁力研磨、磁流變磨料流加工等復(fù)合加工方法的誕生。超精密激光可以高效實(shí)現(xiàn)微米級(jí)尺寸、特殊形狀、超精度的加工,材料表面無熔化痕跡,邊緣光滑無飛濺物。工業(yè)超精密刀具制造
超精密加工是指在維持精細(xì)公差,并于工件上去除材料、精加工等過程。納米級(jí)超精密MLCC輪刀
現(xiàn)有物理切削技術(shù),接觸式加工,磨損基石,需要切削油,加工后需要清洗納秒激光加工有以下問題:細(xì)微裂紋,熔化-再凝固產(chǎn)生熱變形,表面物性發(fā)生變化,周圍會(huì)產(chǎn)生多個(gè)顆粒飛秒激光打磨:改善現(xiàn)有打磨技術(shù)的問題-熱影響極小,可以局部加工-不需要切削油和化學(xué)藥劑-細(xì)微裂紋極少化表面物理特性變化少,在不改變物性值的情況下,提高表面粗糙度。高功率激光打磨:測(cè)量高度→獲取高度數(shù)據(jù)→轉(zhuǎn)換成面數(shù)據(jù)→去除表面凸起中等功率,利用中等功率激光可以刻畫低功率時(shí)具有,清洗效果;拋光效果(也有去除微孔邊緣毛刺的效果)拋光后,[AOI(自動(dòng)光學(xué)檢查)]對(duì)孔不良進(jìn)行檢測(cè)(手動(dòng)或自動(dòng))(光學(xué)相機(jī)掃描儀)材料的邊緣測(cè)量和修正材料位置誤差。加工部件激光光學(xué)系統(tǒng)位移傳感器、光學(xué)相機(jī)、防撞傳感器滑門及外蓋實(shí)用程序系統(tǒng)控制系統(tǒng)該激光加工設(shè)備環(huán)保,有利于工藝自動(dòng)化,本公司通過各工序的聯(lián)動(dòng)及生產(chǎn)自動(dòng)化,推進(jìn)智能工廠化,成為超精密激光加工系統(tǒng)領(lǐng)域全球企業(yè),上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰炯{米級(jí)超精密MLCC輪刀