超精密加工主要包括三個領域:超精密切削加工如金剛石刀具的超精密切削,可加工各種鏡面。它已成功地解決了用于激光核聚變系統(tǒng)和天體望遠鏡的大型拋物面鏡的加工。超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盤的涂層表面加工和大規(guī)模集成電路基片的加工。超精密特種加工如大規(guī)模集成電路芯片上的圖形是用電子束、離子束刻蝕的方法加工,線寬可達0.1μm。如用掃描隧道電子顯微鏡(STM)加工,線寬可達2~5nm。超精密加工是指亞微米級(尺寸誤差為0.3~0.03μm,表面粗糙度為Ra0.03~0.005μm)和納米級(精度誤差為0.03μm,表面粗糙度小于 Ra0.005μm)精度的加工。實現(xiàn)這些加工所采取的工藝方法和技術措施,則稱為超精加工技術。加之測量技術、環(huán)境保障和材料等問題,人們把這種技術總稱為超精工程。激光超精密加工技術領域,全球有多家廠商參與競爭并提供各種不同類型的設備。主要廠商集中在亞洲、德國等。半導體超精密機器人零件
超精密加工技術市場是國家高技術集中的市場,它既是高代價、高投入的工藝技術,又是高增值、高回報的工藝技術,世界工業(yè)先進國家都把它放在國家技術和經(jīng)濟振興的重要位置。試舉幾例。(1)超精密零件加工。例如慣性導航儀器系統(tǒng)中的氣浮陀螺的浮子及支架、氣浮陀螺馬達軸承等零件的尺寸精度、圓度和圓柱度都要求達到亞微米級精度;人造衛(wèi)星儀器軸承是真空無潤滑軸承,其孔和軸的表面粗糙度Rα達到1nm,圓度和圓柱度均為納米級精度,這些零件都是用超精密金剛石刀具鏡面車削加工的。精密液壓控制系統(tǒng)中的精密伺服閥的閥芯與閥套的配合精度也常在亞微米等級,它是用超精密磨削方法加工的。進口超精密相機模組鏡頭切割器激光超精密打孔是將光斑直徑縮小到微米級,從而獲得高的激光功率密度,幾乎可以在任何材料實行激光打孔。
微泰憑借30年的精密加工技術和銳利刀具的邊緣技術,利用激光的微孔加工技術,生產(chǎn)了客戶所需的各種產(chǎn)品。除了零件,我們還生產(chǎn)和供應需要裝配的部件。與液晶面板(LCD)這樣的大尺寸元件相比,微泰更傾向于半導體/MLCC/新能源電池等更小、更精密的領域,并且在尚未成功國產(chǎn)化的元件的國產(chǎn)化方面也取得了很大成就。從塑料樹脂系列開始,我們生產(chǎn)和供應的材料幾乎與客戶提供的所有圖紙相符,包括不銹鋼、碳化鎢、陶瓷和MMC材料,沒有限制。應用于多個部件其他半導體/高水平平面度的金屬板、由微孔構(gòu)成的金屬板、超精密加工件、多數(shù)部件組成的設備配件、組裝件、半導體/MLCC/電池行業(yè)所需超精密元件。真空卡盤,晶圓卡盤、模組組裝治具。倒裝芯片鍵合TOOL。
微泰利用先進的飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術),飛秒激光拋光技術,生產(chǎn)各種超精密零部件。用于半導體加工真空板薄膜真空板倒裝芯片工藝真空塊MLCC貼合用真空板薄膜芯片粘接工具,鏡頭模組組裝治具。用自主自主技術,飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng),加工出來的微孔不同于連續(xù)波激光,納秒激光,皮秒激光加工出來的微孔,平整,熱變形和物理變形很小,可以做到,1.孔徑至少為20微米2.能夠加工MIN0.3微米孔距3.MLCC貼合真空板4.在一塊真空板上,能夠處理多達八十萬個孔5.各種形狀的孔6.同一截面的不規(guī)則孔7.可混合加工不規(guī)則尺寸的孔有問題請聯(lián)系,上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰炯す獬芗庸べ|(zhì)量的影響因素少,加工精度高,在一般情況下均優(yōu)于其它傳統(tǒng)的加工方法。
我公司利用自主技術,飛秒激光螺旋鉆孔技術,可以在各種金屬,陶瓷,藍寶石,超硬材料,PCD上加工各種形狀的微孔,MIN可加工5微米的孔,MIN孔距可做到0.3微米,而且可以對孔壁進行拋光,使之孔壁光滑。飛秒激光不同于納秒激光,微孔平整,熱變形和物理變形很小。這是納秒激光加工件,這是飛秒激光加工件。我公司飛秒激光螺旋鉆孔技術為電子,光學,機械,化學,醫(yī)療等不同行業(yè)的高精度微孔需求,提供高精度加工服務。上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰?,利用韓國先進技術,飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術),飛秒激光拋光技術,生產(chǎn)各種超精密零部件。MLCC方面有三星電機,日本村田等很多企業(yè)的業(yè)績,是韓國三星主要供應商。主要生產(chǎn):1,MLCC吸膜板,2,各種MLCC刀具,刀片。3,MLCC掩模板陣列遮罩板。4,測包機分度盤。5,各種MLCC設備精密零件。MLCC吸膜板,用于在MLCC疊層機和印刷機上,通過抽真空移動0.8微米的生陶瓷片。MLCC吸膜板與MLCC切割刀片在韓國,技術和質(zhì)量方面有壓倒性優(yōu)勢,有問題請聯(lián)系上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰居捎诰雀叩木壒?,超精密加工常應用在光學元件。也會應用在機械工業(yè)。進口超精密相機模組鏡頭切割器
改變基材成分的超精密加工包括激光熔覆、激光電鍍、激光合金化和激光氣相沉積等應用。半導體超精密機器人零件
微泰,采用先進的飛秒激光的高速螺旋鉆削自主技術,進行半導體產(chǎn)業(yè)所需的各種形狀的微孔加工,MIN可做到5微米的微孔,公差可做到±2微米,孔距可做到0.3微米。還可以進行MAX10度角的倒錐孔和各種幾何形狀的微孔,飛秒激光利用相對較短的激光脈沖,熱損傷很小,加工對象沒有物性變形層,表面平整,實現(xiàn)超精密微孔加工。MLCC層壓的真空板相同區(qū)域內(nèi)可加工不規(guī)則位置的孔;可以混合加工不規(guī)則尺寸,孔間距可達0.3μm;可加工多達800,000個孔,用于MLCC印刷吸膜板,MLCC疊層吸膜板,吸附板。半導體超精密機器人零件