紫外光反射鏡生產(chǎn)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-05-12

在進(jìn)行高精度檢測距離或時(shí)間的時(shí)候,經(jīng)常會用到法布里-珀羅反射鏡,此類反射鏡的誕生就是為了提高法布里-珀羅反射鏡的性能,在實(shí)際使用的過程中,超級反射鏡的反射率達(dá)到99.999%。在制作的過程中采用離子束濺射(IBS)鍍膜方式,從而獲得細(xì)密而無缺陷的高質(zhì)量光學(xué)膜。由于基板和光學(xué)膜的散亂損失非常小,用其來構(gòu)建法布里-珀羅腔,可以得到非常窄的光譜帶寬和高銳度。飛秒激光用反射鏡分為低分散反射鏡和負(fù)分散反射鏡兩種。低分散反射鏡在脈寬100fs以下的超短脈沖激光中使用的波長分散也可以做到很小。光學(xué)反射鏡多在需要改變光的傳輸方向的場合使用到,根據(jù)入射角度分有0°反射鏡、45°反射鏡。紫外光反射鏡生產(chǎn)

在光學(xué)加工中,反射鏡可以很好地補(bǔ)償待檢鏡,解決加工中的一些難題。通過三級像差理論求解反射鏡補(bǔ)償檢驗(yàn)二次曲面的初始結(jié)構(gòu)參量,令球差系數(shù)∑S1=0,補(bǔ)償鏡e21可選擇球面或橢球面,推導(dǎo)出補(bǔ)償鏡和待檢鏡之間關(guān)系的表示式e。21=0、0.1、0.2、0.3、0.4,按公式畫出e22/α~β,αr02/r01~β的曲線圖,從中確定β∝α,e21,e22,r01,r02,d12的對應(yīng)關(guān)系,解出補(bǔ)償檢驗(yàn)的初始結(jié)構(gòu)參量,分析補(bǔ)償鏡放置待檢鏡曲率中心前α>0,α>1和后α<0、β≥0,β≤0對應(yīng)待檢鏡的e22各種求解。分析看出:這包括了補(bǔ)償檢驗(yàn)的全部功能,對凸和凹的二次曲面都可以進(jìn)行補(bǔ)償檢驗(yàn),其中有以前提出的解,也有以前沒有發(fā)現(xiàn)的解,對補(bǔ)償檢驗(yàn)的多方面分析是非常有益的。紫外光反射鏡生產(chǎn)在光學(xué)玻璃的背面,通過真空鍍膜鍍一層金屬銀薄膜,使入射光反射的光學(xué)元件。

家用反射鏡的涂層通常是位于內(nèi)側(cè),外面是玻璃表面,很容易清洗。其它應(yīng)用中,光通常直接入射到涂層上,而不需要射到襯底上。激光器技術(shù)和基礎(chǔ)光學(xué)中,存在更先進(jìn)的金屬反射鏡。這些反射鏡的表面通常還有附加的涂層是為了提高反射率同時(shí)保護(hù)金屬涂層避免被氧化。可以采用多種金屬做反射鏡涂層,例如,金,銀,銅和鎳鉻合金。激光器技術(shù)和基礎(chǔ)光學(xué)中較重要的反射鏡為介質(zhì)反射鏡。這種反射鏡包含多層薄介質(zhì)涂層。它是利用不同涂層截面的反射效應(yīng)結(jié)合在一起。常用的一種類型為布拉格反射鏡(四分之一波長反射鏡),這是較簡單的在某一波長(布拉格波長)處能得到較高反射率的一種反射鏡。

在使用反射鏡的過程中光線入射角度需要在零度至二十度之間,在其他角度入射時(shí)可能無法做到分散補(bǔ)償。電介質(zhì)膜反射鏡根據(jù)使用用途的不同會有差異,目前主要種類有:強(qiáng)激光用電介質(zhì)反射鏡、超帶寬電介質(zhì)膜反射鏡和入射角可變激光譜線反射鏡。強(qiáng)激光用電介質(zhì)膜反射鏡主要適用于高功率,脈沖Nd-YAG激光(或Yb-YLF激光)或準(zhǔn)分子激光的光學(xué)系統(tǒng)。在YAG激光器中,用作從基波(1064nm)到4次諧波(266nm)的反射鏡,也用作ArF(193nm),KrF(248nm)的準(zhǔn)分子激光的反射鏡。超帶寬電介質(zhì)膜反射鏡,這類反射鏡在紫外譜區(qū)、可見光譜區(qū)和紅外譜區(qū)都有著高反射率。激光反射鏡能起到在激光管內(nèi)改變光線的作用,起到減少激光管長度的作用。

反射鏡是一種利用反射定律工作的光學(xué)元件。反射鏡按形狀可分為平面反射鏡、球面反射鏡和非球面反射鏡三種;按反射程度,可分成全反反射鏡和半透半反反射鏡(又名分束鏡)。過去進(jìn)行反射鏡的制造時(shí),常常在玻璃上鍍銀,它蹬制作標(biāo)準(zhǔn)工藝是:在高度拋光的襯底上真空蒸鋁后,再鍍上一氧化硅或氟化鎂,特殊應(yīng)用中,由于金屬引起損失可由多層介質(zhì)膜代替。因反射定律與光的頻率無關(guān),此種元件工作頻帶很寬,可達(dá)可見光頻譜的紫外區(qū)和紅外區(qū),所以它的應(yīng)用范圍愈來愈廣。在光學(xué)玻璃的背面,通過真空鍍膜鍍一層金屬銀(或鋁)薄膜,使入射光反射的光學(xué)元件。低分散反射鏡在脈寬100fs以下的超短脈沖激光中使用的波長分散也可以做到很小。柱面反射鏡生產(chǎn)商

平面反射鏡用于塔式太陽能電站,有跟蹤設(shè)備,一般和拋物面鏡聯(lián)合使用。紫外光反射鏡生產(chǎn)

碳化硅反射鏡的燒結(jié)工藝:SiC陶瓷材料的制備工藝方式主要有:熱壓燒結(jié)工藝、反應(yīng)燒結(jié)工藝、常壓燒結(jié)工藝和化學(xué)氣相沉積工藝(CVD)。其中熱壓燒結(jié)工藝由于工藝過程的限制,不適合制備形狀復(fù)雜的反射鏡鏡坯。常壓燒結(jié)工藝燒結(jié)過程鏡坯的收縮率達(dá)到10%~15%,這種工藝對于制備精密尺寸的近凈尺寸成型不利。CVD技術(shù)制備SiC質(zhì)反射鏡,是將含有硅源(SiCl4)和碳源(CXHY)的氣體共同導(dǎo)入反應(yīng)爐,合成SiC后沉積在基板上。采用該工藝制備的鏡體質(zhì)量較好,但成本也較高,只有在特殊的情況下應(yīng)用該技術(shù)。反應(yīng)燒結(jié)工藝可以制備大尺寸、形狀復(fù)雜的SiC反射鏡鏡坯,并且反應(yīng)燒結(jié)的制備溫度相對較低、燒結(jié)時(shí)間周期短、鏡坯制造成本低、燒結(jié)完成的結(jié)構(gòu)致密,機(jī)械綜合性能、熱特性較優(yōu),符合超大口徑反射鏡的應(yīng)用要求。紫外光反射鏡生產(chǎn)

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