光學(xué)鍍膜機(jī)常采用物理了氣相沉積(PVD)原理進(jìn)行鍍膜操作。其中,真空蒸發(fā)鍍膜是PVD的一種重要方式。在高真空環(huán)境下,將鍍膜材料加熱至沸點(diǎn),使其原子或分子獲得足夠能量而蒸發(fā)逸出。這些氣態(tài)的原子或分子在無碰撞的情況下直線運(yùn)動(dòng),較終到達(dá)并沉積在基底表面形成薄膜。例如,當(dāng)鍍制金屬鋁膜時(shí),將鋁絲通電加熱,鋁原子蒸發(fā)后均勻地附著在放置于特定位置的鏡片基底上。另一種常見的PVD技術(shù)是濺射鍍膜,它利用離子源產(chǎn)生的高能離子轟擊靶材,使靶材表面的原子或分子被濺射出來,這些濺射出來的粒子同樣在真空環(huán)境中飛向基底并沉積成膜。這種方式能夠精確控制膜層的厚度和成分,適用于多種材料的鍍膜,尤其對(duì)于高熔點(diǎn)、難熔金屬及化合物的鍍膜具有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。機(jī)械真空泵在光學(xué)鍍膜機(jī)中可初步抽取鍍膜室內(nèi)的空氣,降低氣壓。廣安光學(xué)鍍膜機(jī)廠家
離子鍍鍍膜機(jī)的工作原理是在真空環(huán)境下,通過蒸發(fā)源使鍍膜材料蒸發(fā)為氣態(tài)原子或分子,同時(shí)利用等離子體放電使這些氣態(tài)粒子電離成為離子,然后在電場(chǎng)作用下加速沉積到基底表面形成薄膜。離子鍍結(jié)合了蒸發(fā)鍍膜和濺射鍍膜的優(yōu)點(diǎn),具有膜層附著力強(qiáng)、繞射性好、可鍍材料普遍等特點(diǎn)。它能夠在復(fù)雜形狀的基底上獲得均勻的膜層,并且可以通過調(diào)節(jié)工藝參數(shù)來控制膜層的組織結(jié)構(gòu)和性能,如硬度、耐磨性、耐腐蝕性等。因此,離子鍍鍍膜機(jī)常用于對(duì)膜層質(zhì)量和性能要求較高的光學(xué)元件、航空航天部件、汽車零部件等的表面處理.德陽磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)光學(xué)鍍膜機(jī)的電氣控制系統(tǒng)協(xié)調(diào)各部件運(yùn)行,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化鍍膜流程。
電氣系統(tǒng)為光學(xué)鍍膜機(jī)的運(yùn)行提供動(dòng)力和控制支持,其維護(hù)不容忽視。定期檢查電氣線路的連接是否牢固,有無松動(dòng)、氧化或破損現(xiàn)象。松動(dòng)的連接可能導(dǎo)致接觸不良,引發(fā)設(shè)備故障或電氣火災(zāi);氧化和破損的線路則可能使電路短路或斷路。同時(shí),要對(duì)控制面板上的按鈕、開關(guān)和儀表進(jìn)行檢查,確保其功能正常,顯示準(zhǔn)確。對(duì)于電氣設(shè)備中的散熱風(fēng)扇、散熱器等散熱部件,要保持清潔,防止灰塵堆積影響散熱效果。過熱會(huì)降低電氣元件的使用壽命并可能引發(fā)故障,尤其是功率較大的電子元件,如電源模塊、驅(qū)動(dòng)器等,更要重點(diǎn)關(guān)注其散熱情況并定期進(jìn)行維護(hù)。
膜厚監(jiān)控系統(tǒng)是確保光學(xué)鍍膜機(jī)精細(xì)鍍膜的“眼睛”。日常維護(hù)中,要定期校準(zhǔn)傳感器。可使用已知精確厚度的標(biāo)準(zhǔn)膜片進(jìn)行校準(zhǔn)測(cè)試,對(duì)比監(jiān)控系統(tǒng)測(cè)量值與標(biāo)準(zhǔn)值的偏差,若偏差超出允許范圍,則需調(diào)整傳感器的參數(shù)或進(jìn)行維修。此外,保持監(jiān)控系統(tǒng)光學(xué)部件的清潔,避免灰塵、油污等沾染鏡頭和光路。這些污染物會(huì)影響光信號(hào)的傳輸和檢測(cè),導(dǎo)致膜厚測(cè)量不準(zhǔn)確。對(duì)于采用石英晶體振蕩法的膜厚監(jiān)控系統(tǒng),要注意石英晶體的老化問題,石英晶體在長(zhǎng)時(shí)間使用后振蕩頻率會(huì)發(fā)生漂移,一般每[X]次鍍膜后需對(duì)石英晶體進(jìn)行檢查和更換,以保證膜厚監(jiān)控的精度。光學(xué)鍍膜機(jī)的靶材在濺射鍍膜過程中會(huì)逐漸消耗,需適時(shí)更換新靶材。
真空系統(tǒng)是光學(xué)鍍膜機(jī)的關(guān)鍵組成部分,其維護(hù)至關(guān)重要。首先,要定期檢查真空泵的油位與油質(zhì)。真空泵油如同設(shè)備的“血液”,油位過低會(huì)影響抽氣效率,而油質(zhì)變差則會(huì)降低真空度并可能導(dǎo)致泵體磨損。一般每[X]個(gè)月需檢查一次,若發(fā)現(xiàn)油色變黑、渾濁或有雜質(zhì),應(yīng)及時(shí)更換。同時(shí),要留意真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)聲音和溫度,異常噪音或過熱可能預(yù)示著泵體內(nèi)部故障,如葉片磨損、軸承損壞等,需停機(jī)檢修。此外,真空管道的密封性也不容忽視,應(yīng)定期使用真空檢漏儀檢查管道連接處、閥門等部位是否存在泄漏。哪怕微小的泄漏都可能使鍍膜室內(nèi)真空度無法達(dá)標(biāo),導(dǎo)致膜層出現(xiàn)缺陷,如針眼、氣泡等,影響鍍膜質(zhì)量。密封件的質(zhì)量和狀態(tài)影響光學(xué)鍍膜機(jī)真空室的密封性能,需定期檢查。綿陽臥式光學(xué)鍍膜機(jī)生產(chǎn)廠家
真空泵油在光學(xué)鍍膜機(jī)真空泵運(yùn)行中起潤(rùn)滑與密封作用,要定期更換。廣安光學(xué)鍍膜機(jī)廠家
膜厚控制是光學(xué)鍍膜機(jī)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一,其原理基于多種物理和化學(xué)方法。其中,石英晶體振蕩法是常用的一種膜厚監(jiān)控技術(shù)。在鍍膜過程中,將一片石英晶體置于與基底相近的位置,當(dāng)鍍膜材料沉積在石英晶體表面時(shí),會(huì)導(dǎo)致石英晶體的振蕩頻率發(fā)生變化。由于石英晶體振蕩頻率的變化與沉積的膜層厚度存在精確的數(shù)學(xué)關(guān)系,通過測(cè)量石英晶體振蕩頻率的實(shí)時(shí)變化,就可以計(jì)算出膜層的厚度。另一種重要的膜厚監(jiān)控方法是光學(xué)干涉法,它利用光在薄膜上下表面反射后形成的干涉現(xiàn)象來確定膜層厚度。當(dāng)光程差滿足特定條件時(shí),會(huì)出現(xiàn)干涉條紋,通過觀察干涉條紋的移動(dòng)或變化情況,并結(jié)合光的波長(zhǎng)、入射角等參數(shù),就可以精確計(jì)算出膜層的厚度。這些膜厚控制原理能夠確保光學(xué)鍍膜機(jī)在鍍膜過程中精確地達(dá)到預(yù)定的膜層厚度,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)光學(xué)元件光學(xué)性能的精細(xì)調(diào)控。廣安光學(xué)鍍膜機(jī)廠家