首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開(kāi)始充入氮?dú)猓涞侥车驼婵斩群?，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開(kāi)始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。電路科高溫隧道精密烤箱。吳江區(qū)半導(dǎo)體工業(yè)烤箱服務(wù)
600度高溫回火爐技術(shù)規(guī)格書一、設(shè)備名稱：HOTTSP-HT600度高溫回火爐二、設(shè)備型號(hào)：HOTTSP-HT600三、設(shè)備型號(hào)定義：HOTTSP-昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司簡(jiǎn)稱；600—整機(jī)最高溫度600度；HT—H表示高溫設(shè)備；T表示非標(biāo)設(shè)備。四、設(shè)備用途：五金件、電子零件、精密零部件產(chǎn)品前后的熱間加工。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內(nèi)，溫控的控制精度正負(fù)5度，均溫性2%。5．2正常使用500度，比較大溫度600度。六、設(shè)備能力:溫度到計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警。（后改為程式表，并增加了電壓表）七、設(shè)備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運(yùn)用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設(shè)定溫度后自動(dòng)保溫計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警提示。7.2設(shè)備組成：HOTTSP-HT600高溫回火爐一臺(tái)。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關(guān)門密封→3加熱升溫→4溫度到計(jì)時(shí)保溫→5保溫時(shí)間到報(bào)警→6斷電降溫→7開(kāi)門下料張家港耐用工業(yè)烤箱高溫隧道固化爐高溫鼓風(fēng)干燥箱。
4、技術(shù)參數(shù)：序號(hào)項(xiàng)目單位規(guī)格1砂芯烘乾烤爐結(jié)構(gòu)型式1座多層通過(guò)式2加熱能源，正英20萬(wàn)大卡天然氣3工件加熱方式熱風(fēng)4送風(fēng)方式不可調(diào)節(jié)風(fēng)管運(yùn)風(fēng)5烘乾時(shí)間min90(可調(diào))6總功率55Kw依據(jù)設(shè)計(jì)圖紙7有載升溫速度（20→150℃）min<508烘乾溫度℃環(huán)境溫度～150（可調(diào)）9溫度控制方式honeywell多組PID自動(dòng)獨(dú)立控制10廢氣處理方式活性炭吸附(選配)11傳動(dòng)方式大功率傳動(dòng)座12溫度控制honeywell數(shù)位式和機(jī)械式溫控儀13噪音dB（A）≤8514迴圈風(fēng)量m3/h依據(jù)設(shè)計(jì)圖紙五、配套設(shè)施說(shuō)明：1.設(shè)備土建基礎(chǔ)設(shè)施由甲方負(fù)責(zé)，乙方提供設(shè)備基礎(chǔ)圖紙。2.甲方負(fù)責(zé)施工現(xiàn)場(chǎng)的水電氣配套工作。3.甲方負(fù)責(zé)設(shè)備調(diào)試前把電、壓縮空氣、水等接到各設(shè)備用電、用氣點(diǎn)及用水點(diǎn)上，並派專人協(xié)調(diào)安裝調(diào)試工作。6.設(shè)備移交時(shí)，乙方需提供產(chǎn)品說(shuō)明書、等技術(shù)資料。7.乙方負(fù)責(zé)無(wú)償培訓(xùn)甲方安排的操作維護(hù)人員至能正常操作及維護(hù)所提供設(shè)備。8.以上規(guī)化是設(shè)計(jì)構(gòu)思，具體定案后以圖紙和雙方負(fù)責(zé)人確定規(guī)格為準(zhǔn)。六、優(yōu)化改善：1.側(cè)拉式閘門（配啟用開(kāi)關(guān)）2.電控：人機(jī)+PLC（規(guī)範(fàn)配電）3.獨(dú)立電櫃厚板1.5T，IP54標(biāo)準(zhǔn)（防塵設(shè)計(jì)），雙門設(shè)計(jì)。
環(huán)境條件環(huán)境溫度-5℃-45℃相對(duì)濕度≤85%RH安裝場(chǎng)地烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供**的配電開(kāi)關(guān)并負(fù)責(zé)設(shè)備外部的電源連接。周圍無(wú)強(qiáng)烈的振動(dòng)和氣流存在，不含鹽分氣體、有毒及腐蝕性氣體，沒(méi)有導(dǎo)電性塵埃。沒(méi)有影響裝置使用的磁界及沒(méi)有沖擊和震動(dòng)。電源AC380V±5%，50Hz三相五線其他保固期整機(jī)1年（天災(zāi)、電力異常、人為使用不當(dāng)、保養(yǎng)不當(dāng)造成的損壞外，本公司完全免費(fèi)維修）。售后電話響應(yīng)時(shí)間1小時(shí)，售后服務(wù)到達(dá)到現(xiàn)場(chǎng)響應(yīng)時(shí)間為24小時(shí)。出貨檔機(jī)器規(guī)格書，儀表操作說(shuō)明書，電氣圖，機(jī)臺(tái)的操作說(shuō)明書（含日常維護(hù)保養(yǎng)，簡(jiǎn)易故障的排除）。臺(tái)車式精密送風(fēng)循環(huán)烤箱。
一、設(shè)備名稱：75寸老化烤箱二、設(shè)備型號(hào)： 三、設(shè)備用途：電子元件，電子玻璃等老化測(cè)試。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內(nèi)，溫控的控制精度正負(fù)5度，均溫性±5℃。5．2正常使用45度，六、設(shè)備能力:溫度到計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警。七、七、設(shè)備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運(yùn)用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設(shè)定溫度后自動(dòng)保溫計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警提示。7.2設(shè)備組成：75寸老化爐一臺(tái)。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關(guān)門密封→3加熱升溫→4溫度到計(jì)時(shí)保溫→5保溫時(shí)間到報(bào)警→6斷電降溫→7開(kāi)門下料九、設(shè)備參數(shù)9-1.老化工件：名稱:電子元件，電子玻璃，電子陶瓷材料9-2.設(shè)備要求：設(shè)備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）75寸老化烤箱技術(shù)規(guī)格書質(zhì)量服務(wù)，設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個(gè)溫度正常使用45度，MAX60度。機(jī)臺(tái)體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效精密送風(fēng)循環(huán)預(yù)熱爐。常州熱風(fēng)循環(huán)工業(yè)烤箱
升降砸門烘干熱處理爐。吳江區(qū)半導(dǎo)體工業(yè)烤箱服務(wù)
一、設(shè)備名稱：86寸老化烤箱二、設(shè)備型號(hào)：TSP202012ZA006-2三、設(shè)備用途：電子元件，電子玻璃等老化測(cè)試。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內(nèi)，溫控的控制精度正負(fù)5度，均溫性±5℃。5．2正常使用45度，比較大溫度60度。六、設(shè)備能力:溫度到計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警。七、七、設(shè)備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運(yùn)用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設(shè)定溫度后自動(dòng)保溫計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警提示。7.2設(shè)備組成：TSP202012ZA00686寸老化爐一臺(tái)。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關(guān)門密封→3加熱升溫→4溫度到計(jì)時(shí)保溫→5保溫時(shí)間到報(bào)警→6斷電降溫→7開(kāi)門下料九、設(shè)備參數(shù)9-1.老化工件：名稱:電子元件，電子玻璃，電子陶瓷材料9-2.設(shè)備要求：設(shè)備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）吳江區(qū)半導(dǎo)體工業(yè)烤箱服務(wù)
昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司是以提供工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐為主的私營(yíng)獨(dú)資企業(yè)，公司位于昆山市巴城鎮(zhèn)石牌中華路1083號(hào)，成立于2014-08-20，迄今已經(jīng)成長(zhǎng)為機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)內(nèi)同類型企業(yè)的佼佼者。臺(tái)上品以工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐為主業(yè)，服務(wù)于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備等領(lǐng)域，為全國(guó)客戶提供先進(jìn)工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐。多年來(lái)，已經(jīng)為我國(guó)機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)生產(chǎn)、經(jīng)濟(jì)等的發(fā)展做出了重要貢獻(xiàn)。