安裝和培訓：13-1.安裝u供方將提供地基圖和水、電接口圖給用戶。u工業(yè)用電：控制柜頂部接頭（一次電電纜線客戶處理，并接線至設備電箱）。u需方安裝現場提供與該設備匹配的電接口，便于安裝調試。u供方在需方現場安裝調試設備并交付使用。13-2.培訓u安裝期間，供方在安裝現場為需方操作者提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急故障的處理程序。u設備出廠經需方預驗收合格。十四、設備驗收：14-1.預驗收u預驗收在供方進行。u一般檢查：看設備的實物布局是否合理，外觀質量與基本功能是否符合技術要求，設備的管線連接是否堅固。u安全檢查包括：機械、電器故障顯示、檢測、報警等各種保護功能的檢查。u設備空運轉檢查：空運轉6小時期間不能出故障。14-2.終驗收14-2-1.終驗收在需方的車間內進行。設備到達需方車間就位后，供方須派專業(yè)人員到需方現場進行調試，同時完成終驗收工作。14-2-2.終驗收的程序如下u同初驗收內容,設備運轉時間延長至三個工作日高溫隧道固化爐燒銀爐。宿遷半導體工業(yè)烤箱市場
控制系統(tǒng)循環(huán)馬達及風葉采用運風馬達，配多翼式風輪，經過動平衡矯正及風速靜壓之測試、共鳴之測試完成；采水平送風循環(huán)方式，兩側吹風，中間回風，有效保證均溫。加熱管采用質量電加熱器加熱?？諝饧訜岱绞?.由烘箱進氣口進風至加熱器風槽內；2.空氣經加熱后在烘箱內部做循環(huán)運風，廢氣從排氣口排出。（外排風管由客戶自備）控溫溫控器1.采用臺上品HOTTSP微電腦自動演算單段溫控器，有PV與SV雙LED顯示功能；2.自帶PID自動整定演算輸出，控制精細。超溫保護器1.采用超溫保護器；2.當溫度超過超溫保護器設定值時，自動切斷加熱電源。時間控制0~99.9小時可任意設定，時間到達后有報警并自動停止加熱。加熱管控制采用SSR固態(tài)繼電器控制加熱器，節(jié)能效果佳，控溫效果更穩(wěn)定，性能更***。溫度傳感器采用K型熱電偶，測溫精細。時控開關附一個時控開關，可設置定時開關機。低壓電氣組件主要電器采用施耐德，日本歐姆龍中間繼電器。記錄儀配1臺國產6通道無紙記錄儀，有效記錄烘箱溫度。蘇州無塵工業(yè)烤箱價格精密送風循環(huán)隧道爐。
外部尺寸：W635*D645*H1255電熱功率：AC220V50HZ2000W電熱控制：PID+SSR測溫探頭：日制PT100鉑金電阻，不銹鋼鎧裝覆套，精度±0.5%，反應靈敏，抗干擾，耐高溫。電氣控制：HMI大屏15寸觸摸屏+IPC(工業(yè)電腦/Advantech研華)（610L/SIMB-A21/I5-2400/16G/1T）(處理器IT,內存16G，硬盤1T,作業(yè)系統(tǒng)64位Windows10)宏碁（ACER）23.8寸IPS硬屏顯示器。（品牌：Advantech研華+PLC品牌：西門子）軟體版本：確認**終規(guī)格后，隨機附上殺毒軟件：360殺毒軟件V5.0正式版內部材質：316L外部材質：304鏡面處理（可定制拉絲，烤漆等）使用溫度：MAX250℃真空度：<133Pa標配國產旋葉真空泵，品牌：慕泓DIM-4。抽氣速度2~4升／秒，抽真空時間60秒左右，破真空時間25秒左右。德國萊寶真空計，型號TTR91,控制精度1pa。氮氣系統(tǒng)：采用**氮氣控制閥控制（MPC浮子式流量閥控制，型號：MPC-P21/P22）。HMDS預處理系統(tǒng)的一般工作流程：HMDS藥劑容量500ml
7、端子排應無損壞，固定牢固，絕緣良好，端子正面朝向應能保證運行或檢修人員從柜外能看到端子兩旁的號碼管；8、配電箱上配有相應的電控圖紙以便維修人查閱。9、PLC程序地址符號用中文標注且清楚明了，電控箱內有詳細的IO地止使用及注解記錄表;10、各段輸送鏈、頂升裝置、自動移行機構、必須設有手動和自動模式，可以聯(lián)動也可以手動控制該設備。七.總體技術要求:1．線體結構為模塊化拼裝結構。2．線體有良好的接地保護,接地線線徑應符合國家有關標準要求。3．生產線（包括各單機，以下同）總體布局合理，人流物流通暢能滿足產品生產的工藝流程需要，并有充分的維修空間。4．生產線各運動部分運轉靈活,平穩(wěn),安全,可靠,無爬行,跳動現象,無異常聲音,工件無碰撞擺動現象.5．生產線各銜接部分,單機設備與生產線之間應銜接良好,工作節(jié)拍協(xié)調一至,且各單機的工作節(jié)拍應小于生產線的工作節(jié)拍。6．生產線整體設計為鋼型材架結構,做到結構美觀,牢固耐用,整體色調簡潔明快.7．各驅動,傳動部位潤滑情況良好,無漏油現象.8．線體著色：按照客戶提供色板確定9．輸送周邊過道部分安裝黃色護欄,采用膨脹螺絲固定于地面.10.系統(tǒng)控制使用安全電壓（DC24V）。氣氛老化烤箱加壓爐。
1)外殼SUS304不銹鋼材質，內膽316L不銹鋼材料；采用不銹鋼加熱管，加熱管4個，總功率2650W,均勻分布在內膽外壁，上下左右四面加熱，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內物品實驗情況。無發(fā)塵材料，適用百級光刻間凈化環(huán)境使用。2)箱門閉合松緊能調節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內保持高真空度。3)溫度采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動控溫,定時,超溫報警等,LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩(wěn)定可靠.4)智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，使真空箱密封性能極好，確保HMDS氣體無外漏顧慮。電熱鼓風烤箱雙開式臺車烤箱。泰州無氧化工業(yè)烤箱維保
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HMDS預處理系統(tǒng)的原理：HMDS預處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預處理系統(tǒng)的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。宿遷半導體工業(yè)烤箱市場
昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司致力于機械及行業(yè)設備，以科技創(chuàng)新實現高質量管理的追求。臺上品作為機械及行業(yè)設備的企業(yè)之一，為客戶提供良好的工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐。臺上品繼續(xù)堅定不移地走高質量發(fā)展道路，既要實現基本面穩(wěn)定增長，又要聚焦關鍵領域，實現轉型再突破。臺上品創(chuàng)始人朱慶巧，始終關注客戶，創(chuàng)新科技，竭誠為客戶提供良好的服務。