1)外殼SUS304不銹鋼材質，內膽316L不銹鋼材料；采用不銹鋼加熱管，加熱管4個，總功率2650W,均勻分布在內膽外壁，上下左右四面加熱，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內物品實驗情況。無發(fā)塵材料，適用百級光刻間凈化環(huán)境使用。2)箱門閉合松緊能調節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內保持高真空度。3)溫度采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動控溫,定時,超溫報警等,LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩(wěn)定可靠.4)智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，使真空箱密封性能極好，確保HMDS氣體無外漏顧慮。雙通道回流隧道烤箱。連云港半導體工業(yè)烤箱市場
（燃氣加熱）規(guī)範書昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司部分、設備規(guī)範及其服務的說明1、設備名稱及數(shù)量：步進式砂芯烘烤爐及其輸送系統(tǒng)、加熱控制系統(tǒng)、送風系統(tǒng)，2套。2、交貨期交貨期為合同生效75工作日天完成設備製造。3、品質保證3.1、我公司以品質體系運作，我們對合約承諾範圍內的一切設備從設計、製造、安裝、調試至交付驗收均按照規(guī)定體系程式執(zhí)行，在全過程中充分聽取用戶方意見，接受用戶方監(jiān)督。在之前設備設計的基礎上進行改善。3.2、我們在加熱設備系統(tǒng)設計方面有豐富的經驗，完全能夠按時優(yōu)質地完成整個工程，確保交期和產品品質。3.3、施工品質控制措施（1）品質目標的制定及論證施工組織設計由技術質檢部會同工地主任進行論證，科學地確定目標管理值。（2）目標的分解及方案以品質指標為依據，按專案施工的管理層次進行分解開展，落實到有關責任者成為施工過程中的品質職責。品質職責包括品質責任與品質許可權。品質職責是建立品質管制網路、品質責任制的一部分，而品質責任制是品質目標、計畫待以落實的保證。3.4、計量器具的配備計畫（1）按施工組織設計中的實際工程量的需要及安裝的技術品質要求，配備好工地的計量器具。（高新區(qū)智能工業(yè)烤箱商家VC均熱板輸送氣氛燒結爐。
九、設備參數(shù)9-1.回火工件：名稱:五金零部件9-2.設備要求：設備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）額定功率為30KW9-3.占地要求：設備整機尺寸：約W1767×D1560×H2317（mm）（配電柜在右側面）主機占地尺寸：約L3500×W2500（mm）廠房高度要求：約3.5米9-4.環(huán)境要求：空氣溫度：5～40℃相對濕度：≤80%十、設備各部分配置10-1．數(shù)量1個溫度正常使用500度，MAX600度。機臺體結構內有效尺寸層架結構，貴司現(xiàn)有設備樣式（見附件圖紙）材質保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T不銹鋼。結構穩(wěn)固、耐用。送風系統(tǒng)方式采用電機帶動皮帶使風輪轉動&加長軸散熱系統(tǒng)。電機功率為1/2HP加熱系統(tǒng)溫控器YUDIAN自動數(shù)顯程序溫控器，溫控范圍：RT~500℃MAX600℃。加熱器◇箱體兩側安裝加熱管、加熱功率25KW?！蠹訜峁懿馁|為，耐高溫鎳鉻特制加熱器，耐溫1200度。
尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設備配置試驗室用電源設備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運行的范圍為±10%）（2）最大負荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應大于300mm。特別要求：文檔到指定的網絡路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產使用量監(jiān)控要求：通過流量計+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監(jiān)控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機臺拋檔使用TXT格式，數(shù)據：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業(yè)批號、作業(yè)人員工號、作業(yè)開始時間、結束時間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機臺上的高度/備注cassette放置于設備前方或左右側）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調檔：（當cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執(zhí)行）軟件支持SEMI自動化標準SECS/GEM通訊接口圓型鐘罩燒結爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導管燒結、退火熱處理用。
對施工的各專業(yè)人員進行資質審查，凡從事特種工作的操作人員須持證上崗。3.6、物資控制對進入現(xiàn)場的原材料、半成品、零部件等物資品質的控制要求，並由責任部門和責任者對物資的品質控制進行監(jiān)督檢查，認真做好檢查記錄，建立物資控制機制。3.7、工序控制對關鍵部位和薄弱環(huán)節(jié)設置控制點，並實施具體的控制措施和辦法。施工過程中嚴格“三檢”制度，開展QC小組活動，做到“誰施工，誰負責”，“上道工序不合格不得轉入下道工序”。3.8、品質檢驗及不合格產品的控制嚴格按照品質檢驗規(guī)章制度，實行崗位責任制對不合格產品堅決返工，獎優(yōu)罰劣。3.9、核對總和試驗控制（1）對工程中的材料、半成品、零部件等必須做到件件檢查，件件合格才能使用。（2）施工品質嚴格按合同規(guī)定的品質檢驗評定標準進行施工、檢查、評定。3.10、加強內部的技術管理（1）圖紙會審。開工前，由技術部門組織專業(yè)人員對該工程和施工圖進行會審，解決施工圖紙上存在的問題。提出詳細施工計畫、材料計畫、施工方案，並作好圖紙會審記錄。（2）技術交底。開工前，由有關技術人員進行施工工藝規(guī)範，技術品質要求書面的詳細交底。主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中。常熟性價比高工業(yè)烤箱費用
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設備配置裡，要記得加入HMDS需求：1、流量監(jiān)控，可監(jiān)控進入腔體的藥液量；氣體流量計（進口的ASERT，型號是0-4000SLM），通過通訊傳輸?shù)絇LC.2、可實現(xiàn)自動調檔（拋檔內容如上次郵件）、自動上、下機，配置霍尼韋爾條碼(可根據客戶要求選擇品牌)，可掃描PDA上的一維條碼三、安全裝置l溫度過升防止器（設定上限，保護被試品和試驗箱體）l電機過負荷熱繼電器（設定上限，保護電機過負荷）l逆向防止器（確保電機轉動方向正確）l動力電流保護器（設定上限，保護電路設備安全）四、附屬部品（交機時附送）操作說明書電路圖管路圖BOM表清單五、交貨試驗項現(xiàn)場性能確認基本模式l溫度上升時間：室溫到150℃是55分鐘內。l溫度下降時間及降溫是自然降溫，受外界環(huán)境影響，少5個小時。l確認在無負荷無試樣情況下進行。l六點測試位置（使用：日本橫河多點記錄儀）。連云港半導體工業(yè)烤箱市場
昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司是以提供工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐為主的私營獨資企業(yè)，公司成立于2014-08-20，旗下HOTTSP，已經具有一定的業(yè)內水平。臺上品以工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐為主業(yè)，服務于機械及行業(yè)設備等領域，為全國客戶提供先進工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐。臺上品將以精良的技術、優(yōu)異的產品性能和完善的售后服務，滿足國內外廣大客戶的需求。