HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。雙門精密紅外線烤箱。鹽城恒溫工業(yè)烤箱維保
（燃?xì)饧訜幔┮?guī)範(fàn)書昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司部分、設(shè)備規(guī)範(fàn)及其服務(wù)的說明1、設(shè)備名稱及數(shù)量：步進(jìn)式砂芯烘烤爐及其輸送系統(tǒng)、加熱控制系統(tǒng)、送風(fēng)系統(tǒng)，2套。2、交貨期交貨期為合同生效75工作日天完成設(shè)備製造。3、品質(zhì)保證3.1、我公司以品質(zhì)體系運作，我們對合約承諾範(fàn)圍內(nèi)的一切設(shè)備從設(shè)計、製造、安裝、調(diào)試至交付驗收均按照規(guī)定體系程式執(zhí)行，在全過程中充分聽取用戶方意見，接受用戶方監(jiān)督。在之前設(shè)備設(shè)計的基礎(chǔ)上進(jìn)行改善。3.2、我們在加熱設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計方面有豐富的經(jīng)驗，完全能夠按時優(yōu)質(zhì)地完成整個工程，確保交期和產(chǎn)品品質(zhì)。3.3、施工品質(zhì)控制措施（1）品質(zhì)目標(biāo)的制定及論證施工組織設(shè)計由技術(shù)質(zhì)檢部會同工地主任進(jìn)行論證，科學(xué)地確定目標(biāo)管理值。（2）目標(biāo)的分解及方案以品質(zhì)指標(biāo)為依據(jù)，按專案施工的管理層次進(jìn)行分解開展，落實到有關(guān)責(zé)任者成為施工過程中的品質(zhì)職責(zé)。品質(zhì)職責(zé)包括品質(zhì)責(zé)任與品質(zhì)許可權(quán)。品質(zhì)職責(zé)是建立品質(zhì)管制網(wǎng)路、品質(zhì)責(zé)任制的一部分，而品質(zhì)責(zé)任制是品質(zhì)目標(biāo)、計畫待以落實的保證。3.4、計量器具的配備計畫（1）按施工組織設(shè)計中的實際工程量的需要及安裝的技術(shù)品質(zhì)要求，配備好工地的計量器具。（連云港高溫工業(yè)烤箱行價圓型鐘罩燒結(jié)爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導(dǎo)管燒結(jié)、退火熱處理用。
安裝和培訓(xùn)：13-1.安裝u供方將提供地基圖和水、電接口圖給用戶。u工業(yè)用電：控制柜頂部接頭（一次電電纜線客戶處理，并接線至設(shè)備電箱）。u需方安裝現(xiàn)場提供與該設(shè)備匹配的電接口，便于安裝調(diào)試。u供方在需方現(xiàn)場安裝調(diào)試設(shè)備并交付使用。13-2.培訓(xùn)u安裝期間，供方在安裝現(xiàn)場為需方操作者提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急故障的處理程序。u設(shè)備出廠經(jīng)需方預(yù)驗收合格。十四、設(shè)備驗收：14-1.預(yù)驗收u預(yù)驗收在供方進(jìn)行。u一般檢查：看設(shè)備的實物布局是否合理，外觀質(zhì)量與基本功能是否符合技術(shù)要求，設(shè)備的管線連接是否堅固。u安全檢查包括：機(jī)械、電器故障顯示、檢測、報警等各種保護(hù)功能的檢查。u設(shè)備空運轉(zhuǎn)檢查：空運轉(zhuǎn)6小時期間不能出故障。14-2.終驗收14-2-1.終驗收在需方的車間內(nèi)進(jìn)行。設(shè)備到達(dá)需方車間就位后，供方須派專業(yè)人員到需方現(xiàn)場進(jìn)行調(diào)試，同時完成終驗收工作。14-2-2.終驗收的程序如下u同初驗收內(nèi)容,設(shè)備運轉(zhuǎn)時間延長至三個工作日
一、設(shè)備名稱：75寸老化烤箱二、設(shè)備型號： 三、設(shè)備用途：電子元件，電子玻璃等老化測試。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內(nèi)，溫控的控制精度正負(fù)5度，均溫性±5℃。5．2正常使用45度，六、設(shè)備能力:溫度到計時，時間到報警。七、七、設(shè)備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設(shè)定溫度后自動保溫計時，時間到報警提示。7.2設(shè)備組成：75寸老化爐一臺。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關(guān)門密封→3加熱升溫→4溫度到計時保溫→5保溫時間到報警→6斷電降溫→7開門下料九、設(shè)備參數(shù)9-1.老化工件：名稱:電子元件，電子玻璃，電子陶瓷材料9-2.設(shè)備要求：設(shè)備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）75寸老化烤箱技術(shù)規(guī)格書質(zhì)量服務(wù)，設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個溫度正常使用45度，MAX60度。機(jī)臺體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效石墨烯應(yīng)用技術(shù)隧道爐。
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的原理：HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮氣的過程，到達(dá)設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。雙通道回流隧道烤箱。南京省電工業(yè)烤箱價格
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耗能：1.燃燒機(jī)用燃?xì)獗容^大24立方每小時，保溫燃?xì)庠?0~50%。約7.2立方到12立方每小時。2.設(shè)備電力功耗：比較大15KW/H.3.壓縮空氣消耗量：0.1立方米/H一、設(shè)備詳細(xì)需求：1.產(chǎn)品尺寸：比較高480mm2.控制功能：按原有控制實現(xiàn)功能二、尺寸：內(nèi)部尺寸W1200*L14500*H500mm外部尺寸W2000*L18000*H2017mm（約）二.溫度范圍:1.最高溫度：250℃2.使用溫度：200℃三．機(jī)器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.（溫度分布均勻度:250℃±10℃.(空爐測量恒溫段有效區(qū)域內(nèi)為準(zhǔn))四.機(jī)械板金結(jié)構(gòu)：1.內(nèi)部材質(zhì)：SUS4301.0t不銹鋼板.2.外部材質(zhì):SS41+粉體烤漆。3.保溫材質(zhì):高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.烘干爐設(shè)有排氣系統(tǒng)，及時將爐內(nèi)廢氣排出爐外，可調(diào)節(jié)大小。5.定制耐熱氣動元器件。鹽城恒溫工業(yè)烤箱維保
昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司公司是一家專門從事工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷售，是一家生產(chǎn)型企業(yè)，公司成立于2014-08-20，位于昆山市巴城鎮(zhèn)石牌中華路1083號。多年來為國內(nèi)各行業(yè)用戶提供各種產(chǎn)品支持。主要經(jīng)營工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐等產(chǎn)品服務(wù)，現(xiàn)在公司擁有一支經(jīng)驗豐富的研發(fā)設(shè)計團(tuán)隊，對于產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)要求極為嚴(yán)格，完全按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)研發(fā)和生產(chǎn)。我們以客戶的需求為基礎(chǔ)，在產(chǎn)品設(shè)計和研發(fā)上面苦下功夫，一份份的不懈努力和付出，打造了HOTTSP產(chǎn)品。我們從用戶角度，對每一款產(chǎn)品進(jìn)行多方面分析，對每一款產(chǎn)品都精心設(shè)計、精心制作和嚴(yán)格檢驗。昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司嚴(yán)格規(guī)范工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐產(chǎn)品管理流程，確保公司產(chǎn)品質(zhì)量的可控可靠。公司擁有銷售/售后服務(wù)團(tuán)隊，分工明細(xì)，服務(wù)貼心，為廣大用戶提供滿意的服務(wù)。