尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設備配置試驗室用電源設備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運行的范圍為±10%）（2）最大負荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應大于300mm。特別要求：文檔到指定的網(wǎng)絡路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產(chǎn)使用量監(jiān)控要求：通過流量計+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監(jiān)控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機臺拋檔使用TXT格式，數(shù)據(jù)：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業(yè)批號、作業(yè)人員工號、作業(yè)開始時間、結束時間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機臺上的高度/備注cassette放置于設備前方或左右側(cè)）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調(diào)檔：（當cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執(zhí)行）軟件支持SEMI自動化標準SECS/GEM通訊接口冷卻隧道爐箱體冷卻爐。揚州半導體工業(yè)烤箱電話
干燥箱DTS-450規(guī)格書一、箱體結構尺寸1.內(nèi)尺寸（W*D*H）mm：450*450*450.外尺寸（W*D*H）mm：約810*720*11203.控制箱：位于機臺底部，方便操作，維修方便4.門、門扣：單門5.內(nèi)膽材質(zhì)：質(zhì)量不銹鋼板6.外箱材質(zhì)：鋼板粉體靜電烤漆（米白色）涂裝采用酸洗脫脂與皮膜處理與采高黏著力液體噴涂7.保溫材質(zhì)：采用質(zhì)量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃）,保溫性能佳，節(jié)能省電，環(huán)保無污染8.爐門保溫材質(zhì)：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩(wěn)，節(jié)能效果佳9.分層：吊桿2支南京恒溫工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家推板式氣氛燒結爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導管燒結、退火熱處理用。
二、性能指標注解：周圍溫度為+5~+35℃時，在無試驗負荷情況下穩(wěn)定1小時后測定的性能。另外，關于溫度上升及下降時間是指電源電壓正常，周圍溫度+25±5℃時的性能。1.溫度性能指標試驗目的□品質(zhì)檢驗□產(chǎn)品開發(fā)□生產(chǎn)應用□可靠性試驗（保存、老化）□其它：本試驗箱技術指標溫度范圍RT~+250℃溫度波動度：≤0.5℃單點控制(PT100型傳感器，一個，測量位置為內(nèi)膽外壁，通過內(nèi)部PID參數(shù)調(diào)整，使內(nèi)部溫度和實測溫度一致)溫度上升時間RT~200℃60分鐘以內(nèi)(空載時)主要參數(shù)：內(nèi)部尺寸：W450*D450*H450（4寸可放置8個，6寸可放置4個）4寸晶圓框架盒的參數(shù)：材質(zhì)：PFA材質(zhì)（需客戶提供實際使用晶圓框架盒）尺寸：132*127*108mm6寸晶圓框架盒的參數(shù)：材質(zhì)：PFA材質(zhì)（需客戶提供實際使用晶圓框架盒）尺寸：143*179*171mm
培訓工作將分為二個階段：①基礎培訓階段基礎培訓在買方所在地進行，主要培訓以下內(nèi)容：對操作人員及維修人員講解有關專業(yè)基礎知識；詳細講解各系統(tǒng)工作原理；各系統(tǒng)的使用、維護及有關注意事項。②現(xiàn)場培訓現(xiàn)場培訓在買方設備現(xiàn)場進行，主要培訓以下內(nèi)容：對照設備講解各系統(tǒng)工作原理；進行實際操作、維護講解；設備安裝調(diào)試階段，使用者可派人參加調(diào)試，為今後熟練的操作、維護創(chuàng)造良好的條件。5.4賣方為買方提供設備的操作和維護規(guī)範。6、安裝調(diào)試與驗收6.1本次買方負責基礎製作，賣方在合同生效10日內(nèi)提供設備基礎設施圖，並負責施工的技術指導；賣方負責設備安裝調(diào)試，買方提供必要的配合。6.2賣方工作人員在現(xiàn)場安裝調(diào)試服從買方的管理，遵守買方的廠紀廠規(guī)。否則買方有權停止賣方的工作，並有權要求賣方更換工作人員。6.3設備安裝調(diào)試後，由買賣雙方依據(jù)國家有關標準和技術要求共同對設備外觀、安裝品質(zhì)進行檢查驗收，設備整體性能參數(shù)和各個零部件要達到驗收標準，達到驗收標準方可以正式交付使用。7、裝運在現(xiàn)場基礎做好後，需方通知供方發(fā)貨并現(xiàn)場施工，運輸方式為由供方用汽車輸送到需方指定場地，費用包含在總價內(nèi)。VC均熱板加壓擴散焊接爐。
以上圖作為參考示意，實際制作依后續(xù)設計為準。兩側(cè)銜接緩沖滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數(shù)量:2條1、輸送線支架焊接框架結構，鏈條拖動滾筒輸送方式;2、線體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動;5、滾筒上安裝導向輪邊，直徑120MM,滾筒間距257MM;6、滾筒之間傳動采用12A滾子鏈條傳動7、輸送寬度:810MM,滾筒總長約960MM;8、動力采用0.37KW齒輪減速馬達驅(qū)動，動力布置滾筒下方;9、電機使用歐邦/東元馬達，馬達配套減速機使用。10、滾筒線輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調(diào)速。下圖為參考端面示意圖以上圖作為參考示意，實際制作依后續(xù)設計為準。兩端升降滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數(shù)量:2套1、升降裝置采用方管焊接框架結構方式。2、升降導向立柱采用80方管，與框架焊接成整體。3、導向輪采用度尼龍輪，強度好耐磨性優(yōu)。4、軸承采用國家質(zhì)量品牌哈爾濱軸承。5、升降采用鏈條升降方式，運行平穩(wěn)。6、升降動力齒輪減速馬達驅(qū)動。7、輸送線結構同滾筒線輸送線結構。升降裝置樣式參考下圖臺車式精密送風循環(huán)烤箱。張家港恒溫工業(yè)烤箱電話
輸送式鏈條燒結爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導管燒結、退火熱處理用。揚州半導體工業(yè)烤箱電話
設備名稱：CQF-HT-45-HMDS真空干燥箱（可非標定制）一、產(chǎn)品概況和用途本設備適用于工礦企業(yè)、醫(yī)學院校、科研單位在真空條件下對物品進行干燥熱處理等，具有溫度控制精度和控制范圍寬的特點，性能指標符合GB5170.2.3.5.6-95《電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗設備基本參數(shù)檢定方法低溫、高溫、交變溫熱試驗設備》的要求。用途真空干燥爐MAX工作溫度250℃。它適用工礦企業(yè)、醫(yī)學院校、科研單位在真空條件下對物品進行干燥熱處理等。真空干燥爐之工作溫度可由室溫起至最高溫度止，在此范圍內(nèi)可任意選定工作溫度，選定后可借箱內(nèi)自動控制系統(tǒng)使溫度恒溫。本真空干燥爐結構精密，控溫靈敏準確，操作簡單，工礦企業(yè)、醫(yī)學院校、科研單位等均可采用，采用了數(shù)字顯示儀表進行測溫，控溫靈活，準確，清晰直觀。揚州半導體工業(yè)烤箱電話
昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司是一家有著先進的發(fā)展理念，先進的管理經(jīng)驗，在發(fā)展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創(chuàng)新，時刻準備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司，在江蘇省等地區(qū)的機械及行業(yè)設備中匯聚了大量的人脈以及客戶資源，在業(yè)界也收獲了很多良好的評價，這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結果，這些評價對我們而言是最好的前進動力，也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強、一往無前的進取創(chuàng)新精神，努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同昆山臺上品工業(yè)自動化供應和您一起攜手走向更好的未來，創(chuàng)造更有價值的產(chǎn)品，我們將以更好的狀態(tài)，更認真的態(tài)度，更飽滿的精力去創(chuàng)造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長！