HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的原理：HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮?dú)猓涞侥车驼婵斩群?，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。熱處理高溫?zé)犸L(fēng)循環(huán)烤箱。太倉工業(yè)工業(yè)烤箱行價(jià)
材質(zhì)1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，棉保溫，具有升溫快，節(jié)能等特點(diǎn)2.不銹鋼爐膛內(nèi)箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風(fēng)系統(tǒng)方式1.專業(yè)的送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐膛溫度均勻。2.熱風(fēng)循環(huán)溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時(shí)。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點(diǎn)溫度實(shí)時(shí)監(jiān)測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管。◇加熱管材質(zhì)為，不銹鋼304加熱器。材質(zhì)1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，棉保溫，具有升溫快，節(jié)能等特點(diǎn)2.不銹鋼爐膛內(nèi)箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風(fēng)系統(tǒng)方式1.專業(yè)的送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐膛溫度均勻。2.熱風(fēng)循環(huán)溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時(shí)。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點(diǎn)溫度實(shí)時(shí)監(jiān)測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管?！蠹訜峁懿馁|(zhì)為，不銹鋼304加熱器。省電工業(yè)烤箱費(fèi)用高溫中溫低溫箱式氣氛爐。
以上圖作為參考示意，實(shí)際制作依后續(xù)設(shè)計(jì)為準(zhǔn)?；亓鳚L筒線：1000L*1048W*800H數(shù)量:1條1、輸送線支架焊接框架結(jié)構(gòu)，鏈條拖動(dòng)滾筒輸送方式;2、線體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動(dòng);5、滾筒上安裝導(dǎo)向輪邊，直徑120MM，滾筒間距266.7MM;6、滾筒之間傳動(dòng)采用12A滾子鏈條傳動(dòng)7、輸送寬度:910MM,滾筒總長約960MM;8、動(dòng)力采用0.37KW齒輪減速馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，動(dòng)力布置滾筒下方;9、電機(jī)使用歐邦/東元馬達(dá)，馬達(dá)配套減速機(jī)使用。10、滾筒線輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調(diào)速。樣式參考下圖以上圖作為參考示意，實(shí)際制作依后續(xù)設(shè)計(jì)為準(zhǔn)。兩端移載小車1000L*1048W行程2500MM。數(shù)量:2臺.1、輸送線支架焊接框架結(jié)構(gòu)，鏈條拖動(dòng)滾筒輸送方式;2、輸送軌道機(jī)身采用8#槽鋼支架焊接制作,表面烤漆處理;3、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動(dòng);4、滾筒上安裝導(dǎo)向輪邊，直徑120MM，滾筒間距257MM;5、滾筒之間傳動(dòng)采用12A滾子鏈條傳動(dòng)
培訓(xùn)工作將分為二個(gè)階段：①基礎(chǔ)培訓(xùn)階段基礎(chǔ)培訓(xùn)在買方所在地進(jìn)行，主要培訓(xùn)以下內(nèi)容：對操作人員及維修人員講解有關(guān)專業(yè)基礎(chǔ)知識；詳細(xì)講解各系統(tǒng)工作原理；各系統(tǒng)的使用、維護(hù)及有關(guān)注意事項(xiàng)。②現(xiàn)場培訓(xùn)現(xiàn)場培訓(xùn)在買方設(shè)備現(xiàn)場進(jìn)行，主要培訓(xùn)以下內(nèi)容：對照設(shè)備講解各系統(tǒng)工作原理；進(jìn)行實(shí)際操作、維護(hù)講解；設(shè)備安裝調(diào)試階段，使用者可派人參加調(diào)試，為今後熟練的操作、維護(hù)創(chuàng)造良好的條件。5.4賣方為買方提供設(shè)備的操作和維護(hù)規(guī)範(fàn)。6、安裝調(diào)試與驗(yàn)收6.1本次買方負(fù)責(zé)基礎(chǔ)製作，賣方在合同生效10日內(nèi)提供設(shè)備基礎(chǔ)設(shè)施圖，並負(fù)責(zé)施工的技術(shù)指導(dǎo)；賣方負(fù)責(zé)設(shè)備安裝調(diào)試，買方提供必要的配合。6.2賣方工作人員在現(xiàn)場安裝調(diào)試服從買方的管理，遵守買方的廠紀(jì)廠規(guī)。否則買方有權(quán)停止賣方的工作，並有權(quán)要求賣方更換工作人員。6.3設(shè)備安裝調(diào)試後，由買賣雙方依據(jù)國家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)要求共同對設(shè)備外觀、安裝品質(zhì)進(jìn)行檢查驗(yàn)收，設(shè)備整體性能參數(shù)和各個(gè)零部件要達(dá)到驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，達(dá)到驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)方可以正式交付使用。7、裝運(yùn)在現(xiàn)場基礎(chǔ)做好後，需方通知供方發(fā)貨并現(xiàn)場施工，運(yùn)輸方式為由供方用汽車輸送到需方指定場地，費(fèi)用包含在總價(jià)內(nèi)。精密送風(fēng)循環(huán)隧道烤箱。
以上圖作為參考示意，實(shí)際制作依后續(xù)設(shè)計(jì)為準(zhǔn)。兩側(cè)銜接緩沖滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數(shù)量:2條1、輸送線支架焊接框架結(jié)構(gòu)，鏈條拖動(dòng)滾筒輸送方式;2、線體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動(dòng);5、滾筒上安裝導(dǎo)向輪邊，直徑120MM,滾筒間距257MM;6、滾筒之間傳動(dòng)采用12A滾子鏈條傳動(dòng)7、輸送寬度:810MM,滾筒總長約960MM;8、動(dòng)力采用0.37KW齒輪減速馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，動(dòng)力布置滾筒下方;9、電機(jī)使用歐邦/東元馬達(dá)，馬達(dá)配套減速機(jī)使用。10、滾筒線輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調(diào)速。下圖為參考端面示意圖以上圖作為參考示意，實(shí)際制作依后續(xù)設(shè)計(jì)為準(zhǔn)。兩端升降滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數(shù)量:2套1、升降裝置采用方管焊接框架結(jié)構(gòu)方式。2、升降導(dǎo)向立柱采用80方管，與框架焊接成整體。3、導(dǎo)向輪采用度尼龍輪，強(qiáng)度好耐磨性優(yōu)。4、軸承采用國家質(zhì)量品牌哈爾濱軸承。5、升降采用鏈條升降方式，運(yùn)行平穩(wěn)。6、升降動(dòng)力齒輪減速馬達(dá)驅(qū)動(dòng)。7、輸送線結(jié)構(gòu)同滾筒線輸送線結(jié)構(gòu)。升降裝置樣式參考下圖升降砸門烘干熱處理爐。太倉工業(yè)工業(yè)烤箱行價(jià)
單門精密送風(fēng)循環(huán)烤箱。太倉工業(yè)工業(yè)烤箱行價(jià)
（燃?xì)饧訜幔┮?guī)範(fàn)書昆山臺上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司部分、設(shè)備規(guī)範(fàn)及其服務(wù)的說明1、設(shè)備名稱及數(shù)量：步進(jìn)式砂芯烘烤爐及其輸送系統(tǒng)、加熱控制系統(tǒng)、送風(fēng)系統(tǒng)，2套。2、交貨期交貨期為合同生效75工作日天完成設(shè)備製造。3、品質(zhì)保證3.1、我公司以品質(zhì)體系運(yùn)作，我們對合約承諾範(fàn)圍內(nèi)的一切設(shè)備從設(shè)計(jì)、製造、安裝、調(diào)試至交付驗(yàn)收均按照規(guī)定體系程式執(zhí)行，在全過程中充分聽取用戶方意見，接受用戶方監(jiān)督。在之前設(shè)備設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上進(jìn)行改善。3.2、我們在加熱設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)方面有豐富的經(jīng)驗(yàn)，完全能夠按時(shí)優(yōu)質(zhì)地完成整個(gè)工程，確保交期和產(chǎn)品品質(zhì)。3.3、施工品質(zhì)控制措施（1）品質(zhì)目標(biāo)的制定及論證施工組織設(shè)計(jì)由技術(shù)質(zhì)檢部會(huì)同工地主任進(jìn)行論證，科學(xué)地確定目標(biāo)管理值。（2）目標(biāo)的分解及方案以品質(zhì)指標(biāo)為依據(jù)，按專案施工的管理層次進(jìn)行分解開展，落實(shí)到有關(guān)責(zé)任者成為施工過程中的品質(zhì)職責(zé)。品質(zhì)職責(zé)包括品質(zhì)責(zé)任與品質(zhì)許可權(quán)。品質(zhì)職責(zé)是建立品質(zhì)管制網(wǎng)路、品質(zhì)責(zé)任制的一部分，而品質(zhì)責(zé)任制是品質(zhì)目標(biāo)、計(jì)畫待以落實(shí)的保證。3.4、計(jì)量器具的配備計(jì)畫（1）按施工組織設(shè)計(jì)中的實(shí)際工程量的需要及安裝的技術(shù)品質(zhì)要求，配備好工地的計(jì)量器具。（太倉工業(yè)工業(yè)烤箱行價(jià)
昆山臺上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中，一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取，不斷制造創(chuàng)新的市場高度，多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的商業(yè)口碑，成績讓我們喜悅，但不會(huì)讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境，富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新，勇于進(jìn)取的無限潛力，昆山臺上品工業(yè)自動(dòng)化供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備，要不畏困難，激流勇進(jìn)，以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！