首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空,待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后,開(kāi)始充入氮?dú)?,充到某低真空度后,再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程,到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后,開(kāi)始保持一段時(shí)間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空,充入HMDS氣體,在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后,停止充入HMDS藥液,進(jìn)入保持階段,使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后,再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)?,完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖:首先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應(yīng),在硅片表面生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。雙門雙控烤箱SCMO-8WS。上海省電工業(yè)烤箱商家
無(wú)塵烘箱雙門雙控XSTS-940*2規(guī)格書一、箱體結(jié)構(gòu)尺寸1.內(nèi)尺寸(W*D*H)mm: 2室2.外尺寸(W*D*H)mm:按照實(shí)際尺寸3.控制器:位于機(jī)臺(tái)右部4.門、門扣:雙門,由中間往兩邊開(kāi)5.內(nèi)膽材質(zhì):質(zhì)量不銹鋼鏡面板6.外箱材質(zhì):冷板靜電粉末烤漆(米白色)7.保溫材質(zhì):采用質(zhì)量高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃),保溫性能佳,節(jié)能省電,環(huán)保無(wú)污染8.爐門保溫材質(zhì):高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃),配備硅膠門條,有效防止熱量流失,保持溫度平穩(wěn),節(jié)能效果佳9.底部配可調(diào)節(jié)的腳杯和可移動(dòng)的腳輪10.箱體各2支凹槽,方便千層架進(jìn)出(千層架由客戶自備)11.內(nèi)部背后設(shè)置防撞裝置電子工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家蘇州自動(dòng)化隧道爐(標(biāo)準(zhǔn))。
六、電源裝置1.電壓:三相380V五線制50Hz2.功率/電流:40KW(80A)3.電器組件:采用中國(guó)臺(tái)灣臺(tái)安與中國(guó)臺(tái)灣天得,日本歐姆龍中間繼電器4.電源引線:由客戶自備七、安全保護(hù)系統(tǒng)1.高溫保護(hù)系統(tǒng):當(dāng)由于外力原因?qū)е聹囟仁Э貢r(shí),本系統(tǒng)會(huì)在超過(guò)設(shè)定溫度10度時(shí)自動(dòng)停止加熱,從而保護(hù)你的產(chǎn)品及機(jī)器的安全。2.過(guò)流保護(hù)系統(tǒng):當(dāng)由于外加電壓過(guò)高或其它原因?qū)е抡麢C(jī)的功率超出正常功率時(shí),本系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)斷電保護(hù)整機(jī)的工控組件不被損壞。八、安裝場(chǎng)地要求1.烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm,用戶須提供的配電開(kāi)關(guān)并負(fù)責(zé)設(shè)備外部的電源連接。2.正常工作環(huán)境條件:(1溫度:5℃~45℃(2相對(duì)濕度:不大于85%(3周圍無(wú)強(qiáng)烈的振動(dòng)和氣流存在(4電源:三相交流380±38V,頻率:50±10Hz(5無(wú)腐蝕性氣體存在3.請(qǐng)務(wù)必接地4.不能在箱內(nèi)烘烤易燃易爆物品,可燃?xì)怏w及性物品九、其它1.保固期:整機(jī)1年(天災(zāi)、電力異常、人為使用不當(dāng)、保養(yǎng)不當(dāng)造成的損壞外,本公司完全免費(fèi)維修)。電話響應(yīng)時(shí)間1小時(shí),售后服務(wù)到達(dá)到現(xiàn)場(chǎng)響應(yīng)時(shí)間為24小時(shí)。2.出貨文件:機(jī)器規(guī)格書,儀表操作說(shuō)明書,電氣圖,機(jī)臺(tái)的操作說(shuō)明書(含日常維護(hù)保養(yǎng),簡(jiǎn)易故障的排除)。
四、設(shè)備說(shuō)明及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)1、工作原理步進(jìn)式砂芯烘烤爐採(cǎi)用風(fēng)路佈置管道的方式,即通過(guò)風(fēng)機(jī)將外部新鮮空氣經(jīng)燃?xì)馊紵龣C(jī)加熱後,送到預(yù)先佈設(shè)的加熱風(fēng)管,熱空氣進(jìn)入到烘烤爐內(nèi),自頂部吹進(jìn)烘烤爐,除吸進(jìn)少量新鮮空氣外,絕大部分熱空氣通過(guò)迴圈被繼續(xù)加熱利用,送入到烘烤爐內(nèi)部,使得烘烤爐內(nèi)溫度逐步升高,當(dāng)溫度達(dá)到設(shè)定溫度時(shí),燃?xì)馊紵龣C(jī)自動(dòng)調(diào)節(jié)大小火,使烤房?jī)?nèi)溫度保持恒定。2設(shè)備總成l本烘烤爐的烘乾功能,且烘乾時(shí)具有自動(dòng)升溫、恒溫定時(shí)、以及具有運(yùn)風(fēng)。該設(shè)備由爐體、迴圈風(fēng)機(jī)系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、安全系統(tǒng)及電控系統(tǒng)等組成。(選配:過(guò)濾系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng))3設(shè)備說(shuō)明3.1烘烤爐系統(tǒng):烘烤爐主體材料必須具有保溫性能好,密封性能優(yōu)越的優(yōu)點(diǎn)。3.1.1烘烤爐保溫結(jié)構(gòu)的側(cè)板和頂板外板均為鋼板,用型鋼做骨架保證室體的強(qiáng)度。烘烤爐壁板選用複合巖棉保溫板,板厚150mm,室體底部採(cǎi)用巖棉上設(shè)高品質(zhì)耐溫鍍鋅板。其內(nèi)外面層為彩鍍鋼板,中間填充巖棉保溫材料,整體結(jié)構(gòu)牢固可靠、外形美觀、保溫效果好,不會(huì)因受熱而發(fā)生形變,設(shè)備使用壽命長(zhǎng)。3.1.2結(jié)構(gòu)裝置:烘烤爐為通過(guò)式,多層結(jié)構(gòu),在烘烤爐的二端設(shè)閘門,很大程度節(jié)能,降低成本,材料與側(cè)板同質(zhì)。精密送風(fēng)循環(huán)隧道爐。
10-5.電器控制控制柜位于爐體的右側(cè)(顏色平光白),內(nèi)裝空氣開(kāi)關(guān)、(日本歐姆龍)繼電器、等主控電器控制電路??刂泼姘蹇刂泼姘灏惭b加熱開(kāi)關(guān),送風(fēng)開(kāi)關(guān)、溫度控制器YUDIAN、故障報(bào)警燈等。操作面板上可以設(shè)定所有的參數(shù)及控制狀態(tài);若不正常,有聲或光報(bào)警并可控制加熱器、馬達(dá)等停止工作。備注◇發(fā)熱管的安裝應(yīng)考慮維修方便?!蟛季€整齊,電線都放入線槽內(nèi);并標(biāo)明線號(hào)?!笏须娋€接頭用線耳方式銜接。十一、主要用料說(shuō)明:11-1.保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料,主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T耐熱不銹鋼。結(jié)構(gòu)穩(wěn)固、耐用。11-2.電機(jī)為“德東”電機(jī)。11-4.溫控器程序表為“YUDIAN”系列產(chǎn)品。11-5.接觸器為中國(guó)臺(tái)灣“東元”系列產(chǎn)品。11-7.中間繼電器、“歐姆龍”系列產(chǎn)品。11-8.空開(kāi)為質(zhì)量“正泰”系列產(chǎn)品。11-9.其它主輔助元器件均采用品牌質(zhì)量件。十二、設(shè)備其它各段及通用技術(shù)規(guī)格:12-2.所有風(fēng)機(jī)、馬達(dá)都標(biāo)有旋轉(zhuǎn)方向。12-3.設(shè)備應(yīng)有緊急和異常報(bào)警裝置。12-4.加熱功率、尺寸及整體設(shè)計(jì)方案均保證清洗效果達(dá)到廠家要求,保證生產(chǎn)能力達(dá)到廠家要求。石墨烯應(yīng)用技術(shù)隧道爐。常熟重型工業(yè)烤箱商家
半導(dǎo)體無(wú)塵烤箱MOL-2DS。上海省電工業(yè)烤箱商家
不管是現(xiàn)在還是未來(lái),工業(yè)烤箱,鐘罩爐,推板爐,鏈條爐都不會(huì)過(guò)時(shí),因?yàn)楣I(yè)烤箱,鐘罩爐,推板爐,鏈條爐所涵蓋的范圍比較寬泛,能夠?yàn)閭€(gè)人家庭、工廠生產(chǎn)、商業(yè)建設(shè)、家庭裝修裝飾等各個(gè)領(lǐng)域提供諸多的產(chǎn)品與服務(wù),因此機(jī)械行業(yè)的未來(lái)發(fā)展前景相當(dāng)不錯(cuò),可以作為一項(xiàng)長(zhǎng)遠(yuǎn)的事業(yè)來(lái)加入進(jìn)去。行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)型企業(yè)普遍通過(guò)增加科技加入、提高產(chǎn)品科技含量的方式提升產(chǎn)品性能和質(zhì)量,擺脫同質(zhì)化困境,以期在日益激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中占據(jù)主動(dòng)。這一情況客觀推動(dòng)了我國(guó)工程機(jī)械技術(shù)水平的提升,自主品牌企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力得到增強(qiáng)。生產(chǎn)型企業(yè)圍繞生產(chǎn)源頭、制造過(guò)程和產(chǎn)品性能三個(gè)方面加強(qiáng)科技研發(fā),應(yīng)用制造工藝,實(shí)現(xiàn)綠色制造。推廣節(jié)能低碳技術(shù),采用制造工藝,發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟(jì),形成低加入、低消耗、低排放的業(yè)態(tài)模式,實(shí)現(xiàn)低碳制造。加快推進(jìn)人工智能技術(shù)、機(jī)器人技術(shù)、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)在機(jī)械工業(yè)全過(guò)程中的應(yīng)用,促進(jìn)生產(chǎn)過(guò)程的數(shù)字化操控、模仿優(yōu)化、狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和自適應(yīng)操控,從而提高產(chǎn)品的智能化水平,使工業(yè)烤箱,鐘罩爐,推板爐,鏈條爐工業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈水平由中低端向中高環(huán)節(jié)邁進(jìn)。上海省電工業(yè)烤箱商家
昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治、展望未來(lái)、有夢(mèng)想有目標(biāo),有組織有體系的公司,堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來(lái)的道路上大放光明,攜手共畫藍(lán)圖,在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)中積累了大批忠誠(chéng)的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),也希望未來(lái)公司能成為*****,努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息,斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績(jī),一直以來(lái),公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠(chéng)實(shí)守信的方針,員工精誠(chéng)努力,協(xié)同奮取,以品質(zhì)、服務(wù)來(lái)贏得市場(chǎng),我們一直在路上!