首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開(kāi)始充入氮?dú)?，充到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開(kāi)始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。雙門雙控烤箱SCMO-8WS。上海省電工業(yè)烤箱商家
無(wú)塵烘箱雙門雙控XSTS-940*2規(guī)格書一、箱體結(jié)構(gòu)尺寸1.內(nèi)尺寸（W*D*H）mm： 2室2.外尺寸（W*D*H）mm：按照實(shí)際尺寸3.控制器：位于機(jī)臺(tái)右部4.門、門扣：雙門，由中間往兩邊開(kāi)5.內(nèi)膽材質(zhì)：質(zhì)量不銹鋼鏡面板6.外箱材質(zhì)：冷板靜電粉末烤漆（米白色）7.保溫材質(zhì)：采用質(zhì)量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），保溫性能佳，節(jié)能省電，環(huán)保無(wú)污染8.爐門保溫材質(zhì)：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩(wěn)，節(jié)能效果佳9.底部配可調(diào)節(jié)的腳杯和可移動(dòng)的腳輪10.箱體各2支凹槽，方便千層架進(jìn)出（千層架由客戶自備）11.內(nèi)部背后設(shè)置防撞裝置電子工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家蘇州自動(dòng)化隧道爐（標(biāo)準(zhǔn)）。
六、電源裝置1.電壓：三相380V五線制50Hz2.功率/電流：40KW（80A）3.電器組件：采用中國(guó)臺(tái)灣臺(tái)安與中國(guó)臺(tái)灣天得，日本歐姆龍中間繼電器4.電源引線：由客戶自備七、安全保護(hù)系統(tǒng)1.高溫保護(hù)系統(tǒng)：當(dāng)由于外力原因?qū)е聹囟仁Э貢r(shí)，本系統(tǒng)會(huì)在超過(guò)設(shè)定溫度10度時(shí)自動(dòng)停止加熱，從而保護(hù)你的產(chǎn)品及機(jī)器的安全。2.過(guò)流保護(hù)系統(tǒng)：當(dāng)由于外加電壓過(guò)高或其它原因?qū)е抡麢C(jī)的功率超出正常功率時(shí)，本系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)斷電保護(hù)整機(jī)的工控組件不被損壞。八、安裝場(chǎng)地要求1.烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開(kāi)關(guān)并負(fù)責(zé)設(shè)備外部的電源連接。2.正常工作環(huán)境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對(duì)濕度：不大于85%（3周圍無(wú)強(qiáng)烈的振動(dòng)和氣流存在（4電源：三相交流380±38V，頻率：50±10Hz（5無(wú)腐蝕性氣體存在3.請(qǐng)務(wù)必接地4.不能在箱內(nèi)烘烤易燃易爆物品，可燃?xì)怏w及性物品九、其它1.保固期：整機(jī)1年(天災(zāi)、電力異常、人為使用不當(dāng)、保養(yǎng)不當(dāng)造成的損壞外，本公司完全免費(fèi)維修)。電話響應(yīng)時(shí)間1小時(shí)，售后服務(wù)到達(dá)到現(xiàn)場(chǎng)響應(yīng)時(shí)間為24小時(shí)。2.出貨文件：機(jī)器規(guī)格書，儀表操作說(shuō)明書，電氣圖，機(jī)臺(tái)的操作說(shuō)明書（含日常維護(hù)保養(yǎng)，簡(jiǎn)易故障的排除）。
四、設(shè)備說(shuō)明及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)1、工作原理步進(jìn)式砂芯烘烤爐採(cǎi)用風(fēng)路佈置管道的方式，即通過(guò)風(fēng)機(jī)將外部新鮮空氣經(jīng)燃?xì)馊紵龣C(jī)加熱後，送到預(yù)先佈設(shè)的加熱風(fēng)管，熱空氣進(jìn)入到烘烤爐內(nèi)，自頂部吹進(jìn)烘烤爐，除吸進(jìn)少量新鮮空氣外，絕大部分熱空氣通過(guò)迴圈被繼續(xù)加熱利用，送入到烘烤爐內(nèi)部，使得烘烤爐內(nèi)溫度逐步升高，當(dāng)溫度達(dá)到設(shè)定溫度時(shí)，燃?xì)馊紵龣C(jī)自動(dòng)調(diào)節(jié)大小火，使烤房?jī)?nèi)溫度保持恒定。2設(shè)備總成l本烘烤爐的烘乾功能，且烘乾時(shí)具有自動(dòng)升溫、恒溫定時(shí)、以及具有運(yùn)風(fēng)。該設(shè)備由爐體、迴圈風(fēng)機(jī)系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、安全系統(tǒng)及電控系統(tǒng)等組成。（選配：過(guò)濾系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)）3設(shè)備說(shuō)明3.1烘烤爐系統(tǒng)：烘烤爐主體材料必須具有保溫性能好，密封性能優(yōu)越的優(yōu)點(diǎn)。3.1.1烘烤爐保溫結(jié)構(gòu)的側(cè)板和頂板外板均為鋼板，用型鋼做骨架保證室體的強(qiáng)度。烘烤爐壁板選用複合巖棉保溫板，板厚150mm，室體底部採(cǎi)用巖棉上設(shè)高品質(zhì)耐溫鍍鋅板。其內(nèi)外面層為彩鍍鋼板，中間填充巖棉保溫材料，整體結(jié)構(gòu)牢固可靠、外形美觀、保溫效果好，不會(huì)因受熱而發(fā)生形變，設(shè)備使用壽命長(zhǎng)。3.1.2結(jié)構(gòu)裝置：烘烤爐為通過(guò)式，多層結(jié)構(gòu)，在烘烤爐的二端設(shè)閘門，很大程度節(jié)能，降低成本，材料與側(cè)板同質(zhì)。精密送風(fēng)循環(huán)隧道爐。
10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側(cè)（顏色平光白），內(nèi)裝空氣開(kāi)關(guān)、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路?？刂泼姘蹇刂泼姘灏惭b加熱開(kāi)關(guān)，送風(fēng)開(kāi)關(guān)、溫度控制器YUDIAN、故障報(bào)警燈等。操作面板上可以設(shè)定所有的參數(shù)及控制狀態(tài)；若不正常，有聲或光報(bào)警并可控制加熱器、馬達(dá)等停止工作。備注◇發(fā)熱管的安裝應(yīng)考慮維修方便?！蟛季€整齊，電線都放入線槽內(nèi)；并標(biāo)明線號(hào)?！笏须娋€接頭用線耳方式銜接。十一、主要用料說(shuō)明：11-1．保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T耐熱不銹鋼。結(jié)構(gòu)穩(wěn)固、耐用。11-2．電機(jī)為“德東”電機(jī)。11-4．溫控器程序表為“YUDIAN”系列產(chǎn)品。11-5．接觸器為中國(guó)臺(tái)灣“東元”系列產(chǎn)品。11-7．中間繼電器、“歐姆龍”系列產(chǎn)品。11-8.空開(kāi)為質(zhì)量“正泰”系列產(chǎn)品。11-9．其它主輔助元器件均采用品牌質(zhì)量件。十二、設(shè)備其它各段及通用技術(shù)規(guī)格:12-2.所有風(fēng)機(jī)、馬達(dá)都標(biāo)有旋轉(zhuǎn)方向。12-3.設(shè)備應(yīng)有緊急和異常報(bào)警裝置。12-4.加熱功率、尺寸及整體設(shè)計(jì)方案均保證清洗效果達(dá)到廠家要求，保證生產(chǎn)能力達(dá)到廠家要求。石墨烯應(yīng)用技術(shù)隧道爐。常熟重型工業(yè)烤箱商家
半導(dǎo)體無(wú)塵烤箱MOL-2DS。上海省電工業(yè)烤箱商家
不管是現(xiàn)在還是未來(lái)，工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐都不會(huì)過(guò)時(shí)，因?yàn)楣I(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐所涵蓋的范圍比較寬泛，能夠?yàn)閭€(gè)人家庭、工廠生產(chǎn)、商業(yè)建設(shè)、家庭裝修裝飾等各個(gè)領(lǐng)域提供諸多的產(chǎn)品與服務(wù)，因此機(jī)械行業(yè)的未來(lái)發(fā)展前景相當(dāng)不錯(cuò)，可以作為一項(xiàng)長(zhǎng)遠(yuǎn)的事業(yè)來(lái)加入進(jìn)去。行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)型企業(yè)普遍通過(guò)增加科技加入、提高產(chǎn)品科技含量的方式提升產(chǎn)品性能和質(zhì)量，擺脫同質(zhì)化困境，以期在日益激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中占據(jù)主動(dòng)。這一情況客觀推動(dòng)了我國(guó)工程機(jī)械技術(shù)水平的提升，自主品牌企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力得到增強(qiáng)。生產(chǎn)型企業(yè)圍繞生產(chǎn)源頭、制造過(guò)程和產(chǎn)品性能三個(gè)方面加強(qiáng)科技研發(fā)，應(yīng)用制造工藝，實(shí)現(xiàn)綠色制造。推廣節(jié)能低碳技術(shù)，采用制造工藝，發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟(jì)，形成低加入、低消耗、低排放的業(yè)態(tài)模式，實(shí)現(xiàn)低碳制造。加快推進(jìn)人工智能技術(shù)、機(jī)器人技術(shù)、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)在機(jī)械工業(yè)全過(guò)程中的應(yīng)用，促進(jìn)生產(chǎn)過(guò)程的數(shù)字化操控、模仿優(yōu)化、狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和自適應(yīng)操控，從而提高產(chǎn)品的智能化水平，使工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐工業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈水平由中低端向中高環(huán)節(jié)邁進(jìn)。上海省電工業(yè)烤箱商家
昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治、展望未來(lái)、有夢(mèng)想有目標(biāo)，有組織有體系的公司，堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來(lái)的道路上大放光明，攜手共畫藍(lán)圖，在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)中積累了大批忠誠(chéng)的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ)，也希望未來(lái)公司能成為*****，努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息，斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌，共創(chuàng)佳績(jī)，一直以來(lái)，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠(chéng)實(shí)守信的方針，員工精誠(chéng)努力，協(xié)同奮取，以品質(zhì)、服務(wù)來(lái)贏得市場(chǎng)，我們一直在路上！