綠色制造與循環(huán)經(jīng)濟
公司采用水性光刻膠技術,溶劑揮發(fā)量較傳統(tǒng)產(chǎn)品降低60%,符合歐盟REACH法規(guī)和國內(nèi)環(huán)保標準。同時,其光刻膠廢液回收項目已投產(chǎn),通過膜分離+精餾技術實現(xiàn)90%溶劑循環(huán)利用,年減排VOCs(揮發(fā)性有機物)超100噸。
低碳供應鏈管理
吉田半導體與上游供應商合作開發(fā)生物基樹脂,部分產(chǎn)品采用可再生原料(如植物基丙烯酸酯),碳排放強度較傳統(tǒng)工藝降低30%。這一舉措使其在光伏電池和新能源汽車領域獲得客戶青睞,相關訂單占比從2022年的15%提升至2023年的25%。
吉田市場定位與未來布局。武漢水性光刻膠供應商
作為深耕半導體材料領域二十余年的綜合性企業(yè),廣東吉田半導體材料有限公司始終將技術創(chuàng)新與產(chǎn)品質(zhì)量視為重要發(fā)展動力。公司位于東莞松山湖產(chǎn)業(yè)集群,依托區(qū)域產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢,持續(xù)為全球客戶提供多元化的半導體材料解決方案。
公司產(chǎn)品涵蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD 光刻膠、半導體錫膏、焊片及靶材等,原材料均嚴格選用美國、德國、日本等國的質(zhì)量進口材料。通過全自動化生產(chǎn)設備與精細化工藝控制,確保每批次產(chǎn)品的穩(wěn)定性與一致性。例如,納米壓印光刻膠采用特殊配方,可耐受 250℃高溫及復雜化學環(huán)境,適用于高精度納米結(jié)構(gòu)制造;LCD 光刻膠以高分辨率和穩(wěn)定性,成為顯示面板行業(yè)的推薦材料。
武漢水性光刻膠供應商半導體芯片制造,用于精細電路圖案光刻,決定芯片性能與集成度。
制版光刻膠應用場景:印刷電路板(FPC)、觸摸屏(TP)的掩膜版制作,以及光學元件(如衍射光柵)的微納加工。特點:高分辨率與耐化學性,確保模板的長期使用壽命。
水性光刻膠(JT-1200)應用場景:環(huán)保要求高的電子元件(如醫(yī)療設備、汽車電子)的制造,以及柔性電路的生產(chǎn)。特點:以水為溶劑,低 VOC 排放,符合 RoHS 和 REACH 環(huán)保標準。
水油兩用光刻膠(JT-2001/SR-3308)適用于混合工藝場景(如部分環(huán)節(jié)需水性顯影,部分需溶劑顯影),提升生產(chǎn)靈活性。
光刻膠的主要應用領域
光刻膠是微電子制造的主要材料,廣泛應用于以下領域:
半導體制造
功能:在晶圓表面形成微細電路圖案,作為蝕刻或離子注入的掩膜。
分類:
正性光刻膠:曝光區(qū)域溶解于顯影液,形成與掩膜版一致的圖案(主流,分辨率高)。
負性光刻膠:未曝光區(qū)域溶解,形成反向圖案(用于早期工藝,耐蝕刻性強)。
技術演進:隨制程精度提升,需匹配不同曝光波長(紫外UV、深紫外DUV、極紫外EUV),例如EUV光刻膠用于7nm以下制程。
平板顯示(LCD/OLED)
彩色濾光片(CF):在玻璃基板上制作紅/綠/藍像素單元,光刻膠用于圖案化黑矩陣(BM)、彩色層(R/G/B)和保護層。
電極圖案:制作TFT-LCD的電極線路或OLED的陰極/陽極,需高透光率和精細邊緣控制。
印刷電路板(PCB)
線路蝕刻:在覆銅板上涂膠,曝光顯影后保留線路區(qū)域,蝕刻去除未保護的銅箔,形成導電線路。
阻焊與字符層:阻焊膠覆蓋非線路區(qū)域,防止短路;字符膠用于印刷電路板標識。
LED與功率器件
芯片制造:在藍寶石/硅基板上制作電極和量子阱結(jié)構(gòu),需耐高功率環(huán)境的耐高溫光刻膠。
Micro-LED:微米級芯片轉(zhuǎn)移和陣列化,依賴超高分辨率光刻膠(分辨率≤5μm)。
光刻膠新興及擴展應用。
工藝流程
目的:去除基板表面油污、顆粒,增強感光膠附著力。
方法:
化學清洗(硫酸/雙氧水、去離子水);
表面處理(硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化,PCB基板用粗化處理)。
涂布(Coating)
方式:
旋涂:半導體/顯示領域,厚度控制精確(納米至微米級),轉(zhuǎn)速500-5000rpm;
噴涂/輥涂:PCB/MEMS領域,適合大面積或厚膠(微米至百微米級,如負性膠可達100μm)。
關鍵參數(shù):膠液黏度、涂布速度、基板溫度(影響厚度均勻性)。
前烘(Soft Bake)
目的:揮發(fā)溶劑,固化膠膜,增強附著力和穩(wěn)定性。
條件:
溫度:60-120℃(正性膠通常更低,如90℃;負性膠可至100℃以上);
時間:5-30分鐘(根據(jù)膠厚調(diào)整,厚膠需更長時間)。
曝光(Exposure)
光源:
紫外光(UV):G線(436nm)、I線(365nm)用于傳統(tǒng)光刻(分辨率≥1μm);
深紫外(DUV):248nm(KrF)、193nm(ArF)用于半導體先進制程(分辨率至20nm);
極紫外(EUV):13.5nm,用于7nm以下制程(只能正性膠適用)。
曝光方式:
接觸式/接近式:掩膜版與膠膜直接接觸(PCB、MEMS,低成本但精度低);
投影式:通過物鏡聚焦(半導體,分辨率高,如ArF光刻機精度達22nm)。
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吉田半導體助力區(qū)域經(jīng)濟,構(gòu)建半導體材料生態(tài)圈,發(fā)揮企業(yè)作用,吉田半導體聯(lián)合上下游資源,推動東莞松山湖半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新。
作為松山湖產(chǎn)業(yè)集群重要成員,吉田半導體聯(lián)合光刻機制造商、光電子企業(yè)共建材料生態(tài)圈。公司通過技術輸出與資源共享,幫助本地企業(yè)提升工藝水平,促進產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新。例如,與華中科技大學合作研發(fā)的 T150A KrF 光刻膠,極限分辨率 120nm,工藝寬容度優(yōu)于日本信越同類產(chǎn)品,已實現(xiàn)量產(chǎn)并出口東南亞,為區(qū)域經(jīng)濟發(fā)展注入新動能。武漢水性光刻膠供應商