定義與特性
負性光刻膠是一種在曝光后，未曝光區(qū)域會溶解于顯影液的光敏材料，形成與掩膜版（Mask）圖案相反的圖形。與正性光刻膠相比，其主要特點是耐蝕刻性強、工藝簡單、成本低，但分辨率較低（通�！�1μm），主要應用于對精度要求相對較低、需要厚膠或高耐腐蝕性的場景。
化學組成與工作原理
主要成分
基體樹脂：
早期以聚異戊二烯橡膠（天然或合成）為主，目前常用環(huán)化橡膠（Cyclized Rubber）或聚乙烯醇肉桂酸酯，提供膠膜的機械強度和耐蝕刻性。
光敏劑：
主要為雙疊氮化合物（如雙疊氮芪）或重氮醌類衍生物，占比約5%-10%，吸收紫外光后引發(fā)交聯反應。
交聯劑：
如六亞甲基四胺（烏洛托品），在曝光后與樹脂發(fā)生交聯，形成不溶性網狀結構。
溶劑：
多為有機溶劑（如二甲苯、環(huán)己酮），溶解樹脂和光敏劑，涂布后揮發(fā)形成均勻膠膜。
工作原理
曝光前：光敏劑和交聯劑均勻分散在樹脂中，膠膜可溶于顯影液（有機溶劑）。
曝光時：
光敏劑吸收紫外光（G線436nm為主）后產生活性自由基，引發(fā)交聯劑與樹脂分子間的共價鍵交聯，使曝光區(qū)域形成不溶于顯影液的三維網狀結構。
顯影后：
未曝光區(qū)域的樹脂因未交聯，被顯影液溶解去除，曝光區(qū)域保留，形成負性圖案（與掩膜版相反）。
厚板光刻膠 JT-3001，抗深蝕刻，PCB 電路板制造Preferred！沈陽正性光刻膠
主要優(yōu)勢：細分領域技術突破與產業(yè)鏈協(xié)同
技術積累與自主化能力
公司擁有23年光刻膠研發(fā)經驗，實現了從樹脂合成、光引發(fā)劑制備到配方優(yōu)化的全流程自主化。例如，其納米壓印光刻膠通過自主開發(fā)的樹脂體系，分辨率達3μm，適用于MEMS傳感器、光學器件等領域，填補了國內空白。
技術壁壘：掌握光刻膠主要原材料（如樹脂、光酸）的合成技術，部分原材料純度達PPT級，金屬離子含量低于0.1ppb，良率超99%。
產品多元化與技術化布局
產品線覆蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠、半導體錫膏等，形成“光刻膠+配套材料”的完整體系。例如：
LCD光刻膠：適配AMOLED、Micro LED等新型顯示技術，與京東方、TCL華星合作開發(fā)高分辨率產品，良率提升至98%。
半導體錫膏：供應華為、OPPO等企業(yè)，年采購量超200噸，用于5G手機主板封裝。
技術化延伸：計劃2025年啟動半導體用KrF光刻膠研發(fā)，目標進入中芯國際、長江存儲供應鏈。
質量控制與生產能力
通過ISO9001:2008質量體系認證，生產環(huán)境執(zhí)行8S管理，原材料采用美、德、日進口高質量材料。擁有全自動化生產線，年產能達2000噸（光刻膠及配套材料），支持大規(guī)模訂單交付。
沈陽正性光刻膠半導體芯片制造，用于精細電路圖案光刻，決定芯片性能與集成度。
廣東吉田半導體材料有限公司多種光刻膠產品，各有特性與優(yōu)勢，適用于不同領域。
厚板光刻膠 JT - 3001：具有優(yōu)異的分辨率和感光度，抗深蝕刻性能良好。符合歐盟 ROHS 標準，保質期 1 年，適用于對光刻精度和抗蝕刻要求較高的厚板加工場景，如一些特殊的電路板制造。
SU - 3 負性光刻膠：分辨率優(yōu)異，對比度良好，曝光靈敏度高，光源適應。重量為 100g，常用于對曝光精度和光源適應性要求較高的微納加工、半導體制造等領域。
液晶平板顯示器負性光刻膠 JT - 1000：有 1L 和 100g 兩種規(guī)格，具有優(yōu)異的分辨率，準確性和穩(wěn)定性好。主要應用于液晶平板顯示器的制造，能滿足其對光刻膠高精度和穩(wěn)定性的需求。
JT - 2000 UV 納米壓印光刻膠：耐強酸強堿，耐高溫達 250°C，長期可靠性高，粘接強度高。重量 100g，適用于需要在特殊化學和高溫環(huán)境下進行納米壓印光刻的工藝，如一些半導體器件的制造。
研發(fā)投入
擁有自己實驗室和研發(fā)團隊，研發(fā)費用占比超15%，聚焦EUV光刻膠前驅體、低缺陷納米壓印膠等前沿領域，與中山大學、華南理工大學建立產學研合作。
專項布局：累計申請光刻膠相關的項目30余項，涵蓋樹脂合成、配方優(yōu)化、涂布工藝等細致環(huán)節(jié)。
生產體系
全自動化產線：采用德國曼茨（Manz）涂布設備、日本島津（Shimadzu）檢測儀器，年產能超500噸（光刻膠），支持小批量定制（小訂單100g）和大規(guī)模量產。
潔凈環(huán)境：生產車間達萬級潔凈標準（ISO 8級），避免顆粒污染，確保光刻膠缺陷密度<5個/cm。
吉田半導體全系列產品覆蓋，滿足多元化需求。
關鍵工藝流程
涂布與前烘：
旋涂或噴涂負性膠，厚度可達1-100μm（遠厚于正性膠），前烘溫度60-90℃，去除溶劑并增強附著力。
曝光：
光源以**汞燈G線（436nm）**為主，適用于≥1μm線寬，曝光能量較高（約200-500mJ/cm），需注意掩膜版與膠膜的貼合精度。
顯影：
使用有機溶劑顯影液（如二甲苯、醋酸丁酯），未曝光的未交聯膠膜溶解，曝光的交聯膠膜保留。
后處理：
后烘（Post-Bake）：加熱（100-150℃）進一步固化交聯結構，提升耐干法蝕刻或濕法腐蝕的能力。
光刻膠：半導體之路上的挑戰(zhàn)與突破。常州LED光刻膠價格
PCB光刻膠國產化率超50%。沈陽正性光刻膠
吉田半導體突破 ArF 光刻膠技術壁壘，國產替代再迎新進展
自主研發(fā) ArF 光刻膠通過中芯國際驗證，吉田半導體填補國內光刻膠空白。
吉田半導體成功研發(fā)出 AT-450 ArF 光刻膠，分辨率達 90nm，適用于 14nm 及以上制程，已通過中芯國際量產驗證。該產品采用國產原材料與自主配方，突破日本企業(yè)對 ArF 光刻膠的壟斷。其光酸產率提升 30%，蝕刻選擇比達 4:1，性能對標日本信越的 ArF 系列。吉田半導體的技術突破加速了國產芯片制造材料自主化進程，為國內晶圓廠提供高性價比解決方案。
沈陽正性光刻膠
